[發明專利]一種物鏡隔振裝置及對該物鏡及物鏡隔振裝置的結構計算方法

有效

• 申請號: 201310389117.9
• 申請日: 2013-09-02
• 公開（公告）號: CN104423175B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發明（設計）人: 吳飛;王茜;陳文樞
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/00;F16F15/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅

1.一種物鏡隔振裝置，其特征在于，所述物鏡隔振裝置包括：

一第一接口，用于與一物鏡連接；

一第二接口，用于與一基板連接；

一主體件，所述主體件位于所述第一接口與第二接口之間，所述主體件為一中空柱體，所述中空柱體的外表面包括一螺旋坡口，所述螺旋坡口的兩端均為圓角。

2.?如權利要求1所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空柱體為一瓶狀管柱，所述瓶狀管柱的兩端直徑大于中間部分直徑。

3.如權利要求1所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空柱體為一中空圓柱體。

4.?如權利要求3所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述瓶狀管柱的內徑取值范圍為15-25mm，外徑取值范圍為25-35mm，所述螺旋坡口的螺距為20-40mm。

5.?如權利要求4所述的物鏡隔振裝置，其特征在于，所述中空圓柱體的內徑取值范圍為15-20mm，外徑取值范圍為25-30mm，所述螺旋坡口的螺距為30-40mm。

6.一種對物鏡及物鏡隔振裝置的結構計算方法，其特征在于，包括：步驟一、將所述物鏡的質量，重心位置，轉動慣量和主慣性軸作為有效載荷質量的屬性，以及將所述物鏡隔振裝置作為支撐的空間位置；步驟二、計算所述結構的剛度矩陣；步驟三，根據所述剛度矩陣，通過求解方程的特征頻率和特征向量得6自由度特征頻率計算公式；步驟四、根據所述6自由度特征頻率計算公式計算標準方差。

7.如權利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結構計算方法，其特征在于，所述剛度矩陣為????????????????????????????????????????????????。

8.如權利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結構計算方法，其特征在于，所述6自由度特征頻率計算公式為：。

9.如權利要求6所述的對物鏡及物鏡隔振裝置的結構計算方法，其特征在于，所述標準方差為。