[發明專利]一種硬盤用拋光組合物在審
| 申請號： | 201310387825.9 | 申請日： | 2013-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN103468153A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 張竹香 | 申請（專利權）人： | 青島承天偉業機械制造有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/18 | 分類號： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266199 山東省青*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硬盤 拋光 組合 | ||
技術領域
本發明涉及一種硬盤用拋光組合物。
背景技術
對增加內存或硬盤容量的需求以及內存或硬盤小型化的趨勢(因為計算機設備中需要更小磁盤驅動器)持續不斷，強調內存或硬盤片制造方法的重要性，包括這類盤片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導體裝置制造相關的化學機械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒有常規的?CMP?方法或商購的?CMP?組合物非常適于內存或硬盤片的平坦化或拋光。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種硬盤用拋光組合物。
為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：
一種硬盤用拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，氧化鎂1-3份，鹽酸2-4份，氧化銅1-3份，氧化鋅3-5份，鋅粉1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素2-6份，苯甲酸甲酯1-3份，聚乙烯醇5-9份，氯苯1-3份，納米硫酸鈣2-8份，鈦酸酯偶聯劑1-2份，納米銀0.5份。
本發明的有益效果是：制備簡單，拋光效果明顯，性能穩定。
具體實施方式
實施例1
一種硬盤用拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，氧化鎂1-3份，鹽酸2-4份，氧化銅1-3份，氧化鋅3-5份，鋅粉1-2份，氧化鉛1-2份，酒石酸1-3份，羥乙基纖維素2-6份，苯甲酸甲酯1-3份，聚乙烯醇5-9份，氯苯1-3份，納米硫酸鈣2-8份，鈦酸酯偶聯劑1-2份，納米銀0.5份。
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