[發(fā)明專利]一種介電層材料化學(xué)機(jī)械拋光液無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310387800.9 | 申請(qǐng)日： | 2013-08-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103468148A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張竹香 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島承天偉業(yè)機(jī)械制造有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09G1/02 | 分類號(hào)： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 266199 山東省青*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 介電層 材料 化學(xué) 機(jī)械拋光 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種介電層材料化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：硫氰酸鹽15-35份，碳酸鈣7-10份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，苯甲酸甲酯8-14份，乙二醇丁醚9-15份，馬來(lái)酸酐8-15份，硼酸鋅4-13份，聚乙烯酯8-14份，二甲基二巰基乙酸異辛酯錫23-28份，磷酸二氫鉀2-4份，分子篩1-2份，硅藻土1份，硼酸鈉2-4份，片層結(jié)構(gòu)的云母粉1份，空心玻璃微珠1-2份。
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