[發明專利]一種硬盤用化學拋光組合物

無效

• 申請號: 201310387799.X
• 申請日: 2013-08-31
• 公開（公告）號: CN103436182A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 張竹香
• 申請（專利權）人: 青島承天偉業機械制造有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種硬盤用化學拋光組合物。

背景技術

對增加內存或硬盤容量的需求以及內存或硬盤小型化的趨勢(因為計算機設備中需要更小磁盤驅動器)持續不斷，強調內存或硬盤片制造方法的重要性，包括這類盤片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導體裝置制造相關的化學機械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒有常規的?CMP?方法或商購的?CMP?組合物非常適于內存或硬盤片的平坦化或拋光。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種硬盤用化學拋光組合物。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：

一種硬盤用化學拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，氧化鎂1-3份，酸酐5-7份，硫脲6-13份，乙醛1-8份，乙二醛5-8份，氯化亞鐵3-7份，氧化鎂1-8份，鹽酸3-8份，氧化銅1-3份，氧化鋅1-2份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯偶聯劑1-2份，納米銀0.5份。

本發明的有益效果是：制備簡單，拋光效果明顯，性能穩定。

具體實施方式

實施例1

一種硬盤用化學拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，氧化鎂1-3份，酸酐5-7份，硫脲6-13份，乙醛1-8份，乙二醛5-8份，氯化亞鐵3-7份，氧化鎂1-8份，鹽酸3-8份，氧化銅1-3份，氧化鋅1-2份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯偶聯劑1-2份，納米銀0.5份。