[發明專利]太陽能電池鈍化膜的制作方法及太陽能電池的制作方法在審
| 申請號： | 201310385985.X | 申請日： | 2013-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN103456838A | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發明（設計）人： | 梁杭偉;吳含封;葉雄新;孫小菩;彭華 | 申請（專利權）人： | 東莞南玻光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄧云鵬 |
| 地址： | 523141 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 鈍化 制作方法 | ||
1.一種太陽能電池鈍化膜的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：
在460℃～480℃、含有硅烷與氨氣的混合氣體氛圍中，使用等離子體增強化學氣相沉積法在硅基材表面形成氮化硅鈍化膜；
沉積反應結束后，立即通入氮氣并使氮氣充滿整個反應環境，并保持氮氣壓強不小于室壓，在460℃～480℃恒溫熱處理5～10分鐘。
2.如權利要求1所述的太陽能電池鈍化膜的制作方法，其特征在于，形成氮化硅鈍化膜過程中，射頻功率為5～6.5KW。
3.如權利要求1所述的太陽能電池鈍化膜的制作方法，其特征在于，所述混合氣體氛圍中硅烷與氨氣的體積比為1:3.5～4.5。
4.如權利要求1所述的太陽能電池鈍化膜的制作方法，其特征在于，所述反應環境內氮氣的壓強為10000mTorr。
5.一種太陽能電池的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：
將經過背腐蝕處理的硅基材置于石墨舟中，在460℃～480℃、含有硅烷與氨氣的混合氣體氛圍中，使用等離子體增強化學氣相沉積法在硅基材表面形成氮化硅鈍化膜；
沉積反應結束后，立即通入氮氣并使氮氣充滿整個反應環境，并保持氮氣壓力不小于室壓，在460℃～480℃恒溫熱處理5～10分鐘；
將沉積有鈍化膜的硅基材依次經絲網印刷、燒結工藝制備出太陽能電池片，并組裝成所述太陽能電池。
6.如權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，形成氮化硅鈍化膜過程中，射頻功率為5～6.5KW。
7.如權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述混合氣體氛圍中硅烷與氨氣的體積比為1:3.5～4.5。
8.如權利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述反應環境內氮氣的壓強為10000mTorr。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于東莞南玻光伏科技有限公司，未經東莞南玻光伏科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310385985.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
