[發明專利]一種多晶棒料車削夾具及車削方法

無效

• 申請號: 201310384069.4
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103434037A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 靳立輝;于書翰;賈弘源;劉旭光;閆耀東;盧君;姚長娟;李立偉;楊春庚
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D7/02;B28D5/02
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

1.一種多晶棒料車削夾具及車削方法，其特征在于：所述夾具包括左端固定盤（1）和右端固定盤（2），所述左端固定盤（1）為圓柱體，其一端為階梯狀（1-1），另一端孔內底端為盲孔（1-2），孔內上端為內錐面（1-3），所述右端固定盤（2）為圓柱體，其一端為平面（2-1），另一端為圓凸起面（2-2）；

所述車削方法步驟如下：將多晶棒料（3）的左端按尺寸磨制一定錐度，將多晶棒料（3）右端切割成平面，且端面與多晶棒料（3）的中心線垂直度小于0.2mm，然后將多晶棒料（3）的右端面與右端固定盤（2）的平面（2-1）膠粘在一起；將左端固定盤（1）的階梯狀（1-1）端用車床三爪卡盤（4）卡緊；

將多晶棒料（3）一端的外錐面置于左端固定盤（2）的內錐面（1-3）內，配合好后可實現自動對中，起到軸向、徑向定向作用，其多晶棒料（3）右端上的右端固定盤（2）圓凸起面（2-2）用車床尾座（5）頂尖頂緊，裝卡完畢；

將選定的硬質合金刀具卡緊，對好刀后，按優選的工藝參數進行棒料的車削，既切削速度為94m/min，縱向進給比例0.2，進刀量2mm，進刀角度80°，同時開啟除塵冷卻裝置，既采用工業用吸塵器，將吸頭固定于車刀刀架上，吸口對準車刀，車削時強大的氣流吸走粉塵的同時也帶走了熱量，起到除塵冷卻的作用，硅粉可直接收集；

車削完成后，按加工精度要求：彎曲度<3mm、橢圓度<3mm、直徑偏差<3mm檢驗。