[發(fā)明專利]單晶爐的導(dǎo)流筒

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310382923.3
• 申請(qǐng)日: 2013-08-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104419978A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦青云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州華騰合金材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學(xué)成

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域，具體是一種用于拉晶硅的單晶爐的導(dǎo)流筒，它應(yīng)用于單晶爐。

背景技術(shù)

單晶爐拉制單晶硅棒時(shí)，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的石墨坩堝托內(nèi)，在保護(hù)性氣氛中加熱融化，調(diào)控到工藝溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入溶融多晶硅液中，與坩堝作逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶硅棒。

目前單晶爐的導(dǎo)流筒的結(jié)構(gòu)為逐漸減小直徑的圓筒狀結(jié)構(gòu)，起高溫氣體導(dǎo)流的作用，高溫氣體為氬氣流，在氬氣流動(dòng)過(guò)程中，不斷的從晶體表面帶走熱量，因此，氬氣流對(duì)晶體表面的吹拂對(duì)于晶體中的徑向和縱向溫度分布有著重要的影響，而溫度梯度又對(duì)晶體中的雜質(zhì)狀況，原生缺陷的形成以及電阻率和氧含量的徑向分布，有著密切的關(guān)系。另外氬氣流過(guò)溶硅液面，除了與融硅有對(duì)流換熱外，還帶走揮發(fā)的SiO，它在溶硅表面的流動(dòng)與流速對(duì)溶硅表面的流動(dòng)圖樣也有一定影響，通過(guò)影響熔體中溫度與雜質(zhì)的分布來(lái)影響晶體中雜質(zhì)的引入。

但現(xiàn)有的這種結(jié)構(gòu)，因?yàn)楦邷貧怏w在導(dǎo)流筒中流動(dòng)的速度快，流動(dòng)阻力小，所以晶體生長(zhǎng)過(guò)程中固液界面凹向固體的一側(cè)，如果凹陷過(guò)大，就會(huì)引起徑向含氧量、電阻率、原生缺陷的起伏過(guò)大，使硅片的響應(yīng)參數(shù)均勻性變差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的問(wèn)題是怎樣控制導(dǎo)流筒中氣體的流速以及導(dǎo)流筒的保溫，本發(fā)明提出了一種單晶爐的導(dǎo)流筒。

本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提出了以下技術(shù)方案：

單晶爐的導(dǎo)流筒，它包括一個(gè)至上而下直徑漸漸縮小的筒體，該筒體由多層復(fù)合的碳纖維材料制成，筒體下端口邊緣通過(guò)若干調(diào)節(jié)部件設(shè)有若干可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣體調(diào)節(jié)裝置，筒體外周面上設(shè)有外筒，外筒與筒體之間設(shè)有保溫空間，該保溫空間內(nèi)設(shè)有保溫材料層。

所述的調(diào)節(jié)部件包括設(shè)于筒體內(nèi)的油缸以及與氣體調(diào)節(jié)裝置連接的連桿，連桿也和油缸的缸桿連接。

所述的氣體調(diào)節(jié)裝置為調(diào)節(jié)板。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)調(diào)節(jié)部件控制氣體調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行對(duì)筒體內(nèi)氣體進(jìn)行導(dǎo)向調(diào)節(jié)，能有效控制晶體固液界面結(jié)晶潛熱的揮發(fā)，從而有效保持固液界面的平坦性，同時(shí)提高了導(dǎo)流筒的保溫效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，單晶爐的導(dǎo)流筒，它包括一個(gè)至上而下直徑漸漸縮小的筒體1，該筒體1由多層復(fù)合的碳纖維材料制成，筒體1下端口邊緣通過(guò)若干調(diào)節(jié)部件設(shè)有若干可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣體調(diào)節(jié)裝置，筒體外周面上設(shè)有外筒2，外筒2與筒體1之間設(shè)有保溫空間，該保溫空間內(nèi)設(shè)有保溫材料層3。

所述的調(diào)節(jié)部件包括設(shè)于筒體內(nèi)的油缸4以及與氣體調(diào)節(jié)裝置連接的連桿5，連桿5也和油缸4的缸桿連接。

所述的氣體調(diào)節(jié)裝置為調(diào)節(jié)板6。