[發明專利]基于VxWorks的光刻機雙工件臺通信方法及裝置

有效

• 申請號: 201310381928.4
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN103439866A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 陳興林;劉川;劉楊;畢延帥
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H04L29/06
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 岳泉清

1.基于VxWorks的光刻機雙工件臺通信方法，它是基于雙工作臺光刻機、上位機和VME工控機實現的，

所述VME工控機內插有運動控制卡，所述運動控制卡嵌入有指令解算模型、控制模型、電機模型和工件臺數學模型；所述運動控制卡用于采集雙工作臺光刻機的運行數據，同時發送控制數據給所述雙工作臺光刻機；

指令解算模型，用于對輸入的指令進行解算，并將解算后的指令發送給控制模型；

控制模型，用于對接收的指令進行整定，生成電機控制量和工件臺控制量，并分將電機控制量發送給電機模型，將工件臺控制量發送給工件臺數學模型；

電機模型，用于根據電機控制量驅動實際臺體中的電機工作；

工件臺數學模型用于根據工作臺控制量驅動實際臺體中的工作臺運動；

其特征在于，上位機和VME工控機內均裝有VxWorks操作系統并接入以太網；

所述上位機內嵌入有上位機軟件，通過所述上位機軟件實現下述步驟：

當接收到操作指令時，將所述操作指令轉換為VME工控機接受的格式的命令，并采用TCP通信協議通過socket?API接口將所述命令下傳到VME工控機的步驟；

當采用UDP通信協議接收到VME工控機發送的執行結果信息并顯示的步驟；

所述VME工控機內嵌入有VME工控機軟件，通過所述VME工控機軟件實現下述步驟：

采用TCP通信協議從socket?ZBUF?API接口接收上位機發送的命令，將所述命令添加到指令接收緩沖隊列的步驟；

從指令接收緩沖隊列取出命令，根據所述命令執行相應的軟硬件操作，操作結束后將執行結果信息添加到數據發送緩沖隊列的步驟；

從數據發送緩沖隊列取出執行結果信息，采用UDP通信協議通過socket?ZBUF?API接口將所述執行結果信息發送給上位機的步驟；

當接收到硬件中斷信號時，執行已經被綁定的中斷服務程序，中斷服務程序通知中斷服務任務，所述中斷服務任務將中斷信息添加到數據發送緩沖隊列的步驟；

當接收到硬件輪詢信號時，將硬件輪詢信號添加到數據發送緩沖隊列的步驟。

2.根據權利要求1所述的基于VxWorks的光刻機雙工件臺通信方法，其特征在于，

上位機采用TCP通信協議通過socket?API接口將所述命令下傳到VME工控機通過如下步驟實現：

調用函數socket()建立流式套接字，然后調用函數bind()的步驟；

函數bind()將建立的流式套接字與本地網絡地址相關聯，然后調用函數Connect（）的步驟；

函數Connect（）向VME工控機發送請求連接，然后調用函數zbufCreate（）的步驟；

函數zbufCreate（）創建ZBUF套接字的步驟；

利用創建的ZBUF套接字進行數據操作，然后調用函數zbufSockSend()的步驟；

函數zbufSockSend()通過TCP通信協議向VME工控機發送指令，調用函數zbufSockRecv（）的步驟；

函數zbufSockRecv（）接收到VME工控機發送的服務應答信號，然后調用函數zbufDelete()的步驟；

函數zbufDelete()刪除創建的ZBUF套接字，然后調用函數close().的步驟；

函數close()將建立的流式套接字關閉的步驟。