[發(fā)明專利]感射線性組合物、顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310381387.5 | 申請(qǐng)日: | 2013-08-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103676479A | 公開(公告)日: | 2014-03-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 中川剛志;西川耕二 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | JSR株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G03F7/027 | 分類號(hào): | G03F7/027;C08F2/48;G03F7/00;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京三幸商標(biāo)專利事務(wù)所 11216 | 代理人: | 劉激揚(yáng) |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 射線 組合 顯示 元件 固化 形成 方法 以及 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種感射線性組合物、顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件。
背景技術(shù)
一般而言,在薄膜晶體管型液晶顯示元件等顯示設(shè)備中,為了將配置成層狀的布線之間進(jìn)行絕緣,因而設(shè)置了作為層間絕緣膜的固化膜。例如,薄膜晶體管型液晶顯示元件經(jīng)由如下工序而制造:在上述固化膜上形成透明電極膜,進(jìn)一步在其上形成液晶取向膜。在這樣的制造工序中,上述固化膜在透明電極膜的形成工序中暴露于高溫,或者暴露于在電極的圖案形成中所使用的抗蝕層的剝離液,因而固化膜需要具有高顯影耐受性、耐熱性以及耐溶劑性。
近年來,考慮到伴隨顯示的高精細(xì)化而來的液晶顯示元件的圖案微細(xì)化以及生產(chǎn)率的效率化,對(duì)于用于形成上述那樣的層間絕緣膜、液晶顯示元件用的間隔物、保護(hù)膜以及著色圖案等固化膜的感射線性組合物,要求具有高分辨率以及感光度。對(duì)此,提出了使用包含肟酯類光聚合引發(fā)劑的感射線性組合物的技術(shù)(參照日本特開2005-227525號(hào)公報(bào))。
但是,即使使用了這樣的技術(shù),也不能說充分滿足了感光度等。另外,對(duì)于感射線性組合物也要求具有保存穩(wěn)定性,并且對(duì)于所形成的固化膜,在上述高顯影耐受性、耐熱性以及耐溶劑性的基礎(chǔ)上還要求具有優(yōu)異的壓縮性能。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-227525號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
本發(fā)明基于以上那樣的情形而完成。其目的在于提供一種感射線性組合物,該感射線性組合物可形成分辨率和感光度優(yōu)異并且具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜。
用于解決問題的方案
為了解決上述問題而完成的發(fā)明是一種感射線性組合物,其含有[A]具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(以下亦稱為“[A]聚合性化合物”)、以及[B]由下述式(1)表示的光聚合引發(fā)劑(以下亦稱為“[B]光聚合引發(fā)劑”)。
【化學(xué)式1】
式(1)中,R1是嗎啉代基、哌啶子基、二甲基氨基或二乙基氨基。R2以及R3各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1~6的烷基。R4以及R5各自獨(dú)立地為羥基、羥甲基或碳原子數(shù)1~6的烷基。n為0~6的整數(shù)。X為氧原子或硫原子。
又,為了解決上述問題而完成的其它發(fā)明包括由該感射線性組合物形成的顯示元件用固化膜、以及具備該顯示元件用固化膜的顯示元件。
進(jìn)一步,為了解決上述問題而完成的另一發(fā)明是一種顯示元件用固化膜的形成方法,其具有如下工序:
(1)使用該感射線性組合物,在基板上形成涂膜的工序,
(2)對(duì)上述涂膜的至少一部分照射射線的工序,
(3)將上述照射了射線的涂膜進(jìn)行顯影的工序,以及
(4)將上述顯影了的涂膜進(jìn)行加熱的工序。
發(fā)明的效果
本發(fā)明可提供一種感射線性組合物,其可形成分辨率和感光度優(yōu)異并且具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜。因此,本發(fā)明的顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件可有助于液晶顯示元件等顯示設(shè)備的高精細(xì)化以及生產(chǎn)率的效率化等。
具體實(shí)施方式
<感射線性組合物>
本發(fā)明的感射線性組合物含有[A]聚合性化合物以及[B]光聚合引發(fā)劑。又,關(guān)于該感射線性組合物,也可含有[C]堿可溶性樹脂以及[D]著色劑作為優(yōu)選成分。進(jìn)一步,該感射線性組合物中,只要不損害本發(fā)明的效果,也可含有除了[B]光聚合引發(fā)劑以外的光聚合引發(fā)劑(以下亦稱為“[B’]光聚合引發(fā)劑”)等其它的任選成分。根據(jù)該感射線性組合物,可形成具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜,因而該感射線性組合物可優(yōu)選用于形成例如顯示元件用固化膜。以下對(duì)各成分進(jìn)行詳述。
<[A]聚合性化合物>
[A]聚合性化合物是具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物。該[A]聚合性化合物可單獨(dú)使用或者將兩種以上組合使用。
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