[發明專利]感射線性組合物、顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件在審
| 申請號: | 201310381387.5 | 申請日: | 2013-08-28 |
| 公開(公告)號: | CN103676479A | 公開(公告)日: | 2014-03-26 |
| 發明(設計)人: | 中川剛志;西川耕二 | 申請(專利權)人: | JSR株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/027 | 分類號: | G03F7/027;C08F2/48;G03F7/00;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京三幸商標專利事務所 11216 | 代理人: | 劉激揚 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 射線 組合 顯示 元件 固化 形成 方法 以及 | ||
技術領域
本發明涉及一種感射線性組合物、顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件。
背景技術
一般而言,在薄膜晶體管型液晶顯示元件等顯示設備中,為了將配置成層狀的布線之間進行絕緣,因而設置了作為層間絕緣膜的固化膜。例如,薄膜晶體管型液晶顯示元件經由如下工序而制造:在上述固化膜上形成透明電極膜,進一步在其上形成液晶取向膜。在這樣的制造工序中,上述固化膜在透明電極膜的形成工序中暴露于高溫,或者暴露于在電極的圖案形成中所使用的抗蝕層的剝離液,因而固化膜需要具有高顯影耐受性、耐熱性以及耐溶劑性。
近年來,考慮到伴隨顯示的高精細化而來的液晶顯示元件的圖案微細化以及生產率的效率化,對于用于形成上述那樣的層間絕緣膜、液晶顯示元件用的間隔物、保護膜以及著色圖案等固化膜的感射線性組合物,要求具有高分辨率以及感光度。對此,提出了使用包含肟酯類光聚合引發劑的感射線性組合物的技術(參照日本特開2005-227525號公報)。
但是,即使使用了這樣的技術,也不能說充分滿足了感光度等。另外,對于感射線性組合物也要求具有保存穩定性,并且對于所形成的固化膜,在上述高顯影耐受性、耐熱性以及耐溶劑性的基礎上還要求具有優異的壓縮性能。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本特開2005-227525號公報
發明內容
發明要解決的問題
本發明基于以上那樣的情形而完成。其目的在于提供一種感射線性組合物,該感射線性組合物可形成分辨率和感光度優異并且具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜。
用于解決問題的方案
為了解決上述問題而完成的發明是一種感射線性組合物,其含有[A]具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物(以下亦稱為“[A]聚合性化合物”)、以及[B]由下述式(1)表示的光聚合引發劑(以下亦稱為“[B]光聚合引發劑”)。
【化學式1】
式(1)中,R1是嗎啉代基、哌啶子基、二甲基氨基或二乙基氨基。R2以及R3各自獨立地為碳原子數1~6的烷基。R4以及R5各自獨立地為羥基、羥甲基或碳原子數1~6的烷基。n為0~6的整數。X為氧原子或硫原子。
又,為了解決上述問題而完成的其它發明包括由該感射線性組合物形成的顯示元件用固化膜、以及具備該顯示元件用固化膜的顯示元件。
進一步,為了解決上述問題而完成的另一發明是一種顯示元件用固化膜的形成方法,其具有如下工序:
(1)使用該感射線性組合物,在基板上形成涂膜的工序,
(2)對上述涂膜的至少一部分照射射線的工序,
(3)將上述照射了射線的涂膜進行顯影的工序,以及
(4)將上述顯影了的涂膜進行加熱的工序。
發明的效果
本發明可提供一種感射線性組合物,其可形成分辨率和感光度優異并且具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜。因此,本發明的顯示元件用固化膜的形成方法、顯示元件用固化膜以及顯示元件可有助于液晶顯示元件等顯示設備的高精細化以及生產率的效率化等。
具體實施方式
<感射線性組合物>
本發明的感射線性組合物含有[A]聚合性化合物以及[B]光聚合引發劑。又,關于該感射線性組合物,也可含有[C]堿可溶性樹脂以及[D]著色劑作為優選成分。進一步,該感射線性組合物中,只要不損害本發明的效果,也可含有除了[B]光聚合引發劑以外的光聚合引發劑(以下亦稱為“[B’]光聚合引發劑”)等其它的任選成分。根據該感射線性組合物,可形成具有高顯影耐受性、耐熱性、耐溶劑性等的固化膜,因而該感射線性組合物可優選用于形成例如顯示元件用固化膜。以下對各成分進行詳述。
<[A]聚合性化合物>
[A]聚合性化合物是具有烯屬不飽和鍵的聚合性化合物。該[A]聚合性化合物可單獨使用或者將兩種以上組合使用。
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