[發(fā)明專利]一種硅塊切割方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310380755.4
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN103448154A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設計）人: 任軍海
• 申請（專利權）人: 衡水英利新能源有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 李榮文

1.一種硅塊切割方法，其特征在于，包括以下步驟：

????1）配制砂漿并注入漿料缸，在切割過程中，根據硅塊有效切割長度添加砂漿；

配制砂漿，把砂漿的密度調制為1.625-1.635kg/L；切割過程中，添加砂漿的添加比例為0.235-0.3L/mm，mm為硅塊有效切割長度，砂漿的添加量=硅塊有效切割長度×砂漿的添加比例；

2）選用導輪，使導輪的槽口與鋼線（1）匹配；

3）工藝參數的設定；

鋼線（1）的切割速度設定為12-14m/s；

工作臺移動速度250-330um/min；

砂漿的流量130-160kg/min；

4）開始切割；

5）切割結束，進行冷卻取出硅片；

??????所述鋼線（1）為結構線，其外表面設有螺旋形凸起（2）并鍍有一層抗氧化層（4）。

2.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述1）中所述的配制砂漿中，使用的回收碳化硅用量為40％-100％，使用的回收懸浮液的用量為40％-100％。

3.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述2）中，導輪的槽口與鋼線（1）匹配為：鋼線（1）的直徑選用120um或130um，導輪的槽口選用340um、345um、350um、355um，使用直徑為120um的鋼線（1）匹配槽口是340um或345um的導輪，使用直徑為130um的鋼線（1）匹配槽口是350um或355um的導輪。

4.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述3）中砂漿的溫度為18-25℃。

5.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述4）中切割過程中鋼線（1）的張力為：當鋼線（1）直徑為120um時，放線軸張力為20-23?N，收線軸張力為19-21?N；當鋼線（1）直徑為130um時，放線軸張力為21-24N，收線軸張力為19-22N；所述4）中切割過程中的回砂溫度≦40℃，鋼線線弓≦7㎜。

6.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述5）中對切割好的硅片進行冷卻，冷卻時間為3-10min；冷卻結束后，設定工作臺的上升速度30-100mm/min，設定鋼線（1）的速度0.4-0.6m/s，將鋼線（1）從切割好的硅片中取出。

7.根據權利要求1所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述結構線的直徑D為0.1mm-0.15mm，所述螺旋形凸起（2）為矩形螺紋，在鋼線軸斷面上，矩形螺紋的寬度為0.10mm-0.20mm，螺紋槽根間距為0.05mm-0.08mm，螺紋深度為0.05mm-0.08mm。

8.根據權利要求7所述的硅塊切割方法，其特征在于：所述螺旋形凸起（2）上設有小凹槽（3），小凹槽（3）沿螺旋形凸起（2）方向纏繞。

9.根據權利要求8所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述小凹槽（3）為三條，小凹槽（3）斷面為矩形；所述小凹槽（3）的寬度為0.01mm-0.02mm，深度為0.015mm-0.02mm，相鄰小凹槽（3）間的小凸起（5）的寬度為0.03mm-0.04mm。

10.根據權利要求１所述的一種硅塊切割方法，其特征在于：所述抗氧化層（4）為黃銅合金層，鋼線（1）的材質為高碳鋼，碳含量為0.75%-0.9%，硫、磷含量小于0.02%。