[發明專利]一種低溫印刷鈦化硅的工藝有效
| 申請號： | 201310379844.7 | 申請日： | 2013-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN103412423A | 公開（公告）日： | 2013-11-27 |
| 發明（設計）人： | 范燕輝;文開福 | 申請（專利權）人： | 江西合力泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 34370*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 低溫 印刷 鈦化硅 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種低溫印刷鈦化硅的工藝，其特征在于，包括以下步驟：
(1)清洗ITO玻璃；
(2)在ITO玻璃上的端子的臺階的走線上印刷鈦化硅；
(3)在ITO表面印刷聚酰亞胺；
(4)在溫度為80℃的條件下預烘鈦化硅和聚酰亞胺；
(5)在溫度為260℃的條件下固化鈦化硅和聚酰亞胺。
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