[發明專利]基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法

無效

• 申請號: 201310378749.5
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN103486980A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 余卿;崔長彩;葉瑞芳;范偉
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 泉州市文華專利代理有限公司 35205
• 代理人: 陳雪瑩

1.基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法，其特征在于：激光光源發出的光束經準直鏡準直后，以大于0°且小于90°的入射角照射在DMD表面，利用DMD的控制系統將此光束調制成所需參數特征的第一結構光，此第一結構光由DMD的第一出射方向射出，先經過第一凸透鏡進行聚光，再由分光鏡反射轉向90°至第二凸透鏡進行聚光，再照射在被測物表面，經被測物表面反射后，再依次通過第二凸透鏡、分光鏡和第三凸透鏡，最后被CCD相機接收，通過CCD相機將光信號轉成電信號，完成對被測物表面的測量；其中，第一凸透鏡、第二凸透鏡和第三凸透鏡相應側的焦點均落于分光鏡上，被測物放置于第二凸透鏡的另一側焦點附近，CCD相機放置于第三凸透鏡的另一側焦點附近。

2.根據權利要求1所述的基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法，其特征在于：上述入射角為66°。

3.根據權利要求1所述的基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法，其特征在于：上述DMD的控制系統將光束調制成不同參數特征的兩束結構光，一束為上述第一結構光，另一束為第二結構光，此兩束結構光在空間中形成互補；第二結構光由另一臺CCD相機接收，兩臺CCD相機的電信號做疊加，以消除背景噪聲。

4.根據權利要求3所述的基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法，其特征在于：上述兩束結構光均為光探針或光探針陣列。