[發明專利]缺陷檢測裝置、缺陷修正裝置及缺陷檢測方法

在審

• 申請號: 201310377121.3
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN103630542A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 大庭博明
• 申請（專利權）人: NTN株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G02F1/13
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 宋俊寅

1.一種缺陷檢測裝置，包括：

攝像頭，該攝像頭拍攝基板并輸出電信號；以及

圖像處理裝置，該圖像處理裝置中輸入有由所述攝像頭輸出的電信號，

所述圖像處理裝置使用從來自所述攝像頭的電信號中得到的多個信號各自的圖像對比度中較大的對比度，來檢測所述基板的缺陷部。

2.如權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，

所述圖像處理裝置對所述多個信號的每一信號、根據多個圖像生成全景圖像，并使用所述多個信號各自的全景圖像的對比度中較大的對比度，來檢測所述基板的缺陷部。

3.如權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，

所述多個信號包括色相、彩度、明度各自的信號。

4.一種缺陷修正裝置，包括：

觀察基板的光學系統；

攝像頭，該攝像頭拍攝所述基板并輸出電信號；

圖像處理裝置，該圖像處理裝置中輸入有由所述攝像頭輸出的電信號，并且該圖像處理裝置使用從來自所述攝像頭的電信號中得到的多個信號各自的圖像對比度中較大的對比度，來計算出所述基板的缺陷部的坐標；以及

修正機構，該修正機構包括使觀察所述基板的光學系統移動至所述計算出的坐標的工作臺、除去所述缺陷部的激光裝置、和對所述基板上除去所述缺陷部后的部分填充油墨的涂布機構中的至少某一個。

5.如權利要求4所述的缺陷修正裝置，其特征在于，

所述缺陷修正裝置包括所述激光裝置和所述涂布機構，

根據所述缺陷部的位置，計算出激光的照射區域和油墨的涂布位置，自動除去所述缺陷部，并自動填充油墨。

6.一種缺陷檢測方法，包括：

拍攝基板并輸出電信號的步驟；以及

使用從所述電信號中得到的多個信號各自的圖像對比度中較大的對比度、檢測所述基板的缺陷部的步驟。

7.如權利要求6所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

還包括對所述多個信號的每一信號、根據多個圖像生成全景圖像的步驟，

檢測所述基板的缺陷部的步驟包含使用所述多個信號各自的全景圖像的對比度中較大的對比度、檢測所述基板的缺陷部的步驟。

8.如權利要求6所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

所述多個信號包括色相、彩度、明度各自的信號。

9.如權利要求6所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

還包括根據與所述缺陷部外接的長方形和畫面的邊界相接的長度、判斷是否檢測出整個所述缺陷部的步驟。

10.如權利要求6所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

還包括基于與缺陷外接的長方形的位置和大小、計算激光照射區域和油墨涂布位置的步驟。