[發(fā)明專(zhuān)利]啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310376565.5
• 申請(qǐng)日: 2010-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103466956A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宮崎文宏;中滿(mǎn)孝志;山崎剛;鬼塚靖之;永田義壽
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社;平田機(jī)工株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C03C17/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C17/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2010年6月28日、申請(qǐng)?zhí)枮?01010212346.X、發(fā)明名稱(chēng)為啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種啟動(dòng)加注處理（priming）方法和啟動(dòng)加注處理裝置，用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備。

背景技術(shù)

在LCD等平板顯示器（FPD）的制造工藝中的光蝕刻工序中，多使用非旋轉(zhuǎn)法，該非旋轉(zhuǎn)法是使具有狹縫狀噴出口的長(zhǎng)條形的狹縫式噴嘴進(jìn)行掃描，從而在玻璃基板等被處理基板上涂敷抗蝕液。

在這樣的非旋轉(zhuǎn)法中，希望在防止抗蝕劑涂敷膜的膜厚的不均勻性和涂敷不均的基礎(chǔ)上，使在涂敷掃描中噴出到基板上的抗蝕液在掃描方向上繞到狹縫式噴嘴的背面?zhèn)榷纬傻膹澮好妫╩eniscus）在噴嘴長(zhǎng)度方向上對(duì)齊成水平一條直線(xiàn)，因此，在涂敷掃描即將開(kāi)始之前，在狹縫式噴嘴的噴出口和基板之間的涂敷間隙中塞滿(mǎn)適量的抗蝕液而使該噴出口和基板之間不存在間隙是必要條件。為了滿(mǎn)足該必要條件，作為涂敷掃描的預(yù)先準(zhǔn)備，進(jìn)行從狹縫式噴嘴的噴出口到背面下端部形成抗蝕液的液膜的啟動(dòng)加注處理。

有代表性的啟動(dòng)加注處理法為，在涂敷處理部附近水平地設(shè)置具有與狹縫式噴嘴相同或相同以上長(zhǎng)度的圓筒狀的啟動(dòng)加注輥，使狹縫式噴嘴隔著微小的間隙接近到與啟動(dòng)加注輥的頂部相對(duì)的位置而噴出抗蝕液，之后立即使啟動(dòng)加注輥沿規(guī)定方向旋轉(zhuǎn)。于是，噴出到啟動(dòng)加注輥的頂部附近的抗蝕液繞到狹縫式噴嘴的背面下部而卷繞在啟動(dòng)加注輥的外周面上，抗蝕液的液膜以分開(kāi)成狹縫式噴嘴側(cè)和啟動(dòng)加注輥側(cè)的形式被分離。在狹縫式噴嘴上從噴嘴噴出口到背面下端部殘留有抗蝕液的液膜。

例如，如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，以往一般的啟動(dòng)加注處理裝置不僅具有用于驅(qū)動(dòng)啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，還具有用于清潔啟動(dòng)加注輥的刮削器（或刮刀）、清洗噴嘴和干燥噴嘴等，當(dāng)1次啟動(dòng)加注處理結(jié)束時(shí)，作為其后處理，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)，用刮削器從啟動(dòng)加注輥的外周面刮掉抗蝕液，利用清洗噴嘴和干燥噴嘴分別對(duì)啟動(dòng)加注輥的外周面噴射清洗液和干燥用氣體。

該種刮削器由長(zhǎng)度與啟動(dòng)加注輥相同或在啟動(dòng)加注輥以上的長(zhǎng)條狀的板體構(gòu)成，沿該刮削器的長(zhǎng)度方向延伸的一邊的邊緣部以與啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向逆向的傾斜角度與啟動(dòng)加注輥的外周面始終接觸的方式配置，能夠利用用于安裝刮削器的螺紋構(gòu)件的擰緊量調(diào)整該接觸壓力。

可是，在1次啟動(dòng)加注處理中，啟動(dòng)加注輥上用于接受從狹縫式噴嘴噴出的抗蝕液而卷繞使用的區(qū)域根據(jù)狹縫式噴嘴、啟動(dòng)加注輥的尺寸不同而不同，然而無(wú)需遍布啟動(dòng)加注輥的整周（360°），而通常是半周（180°）以下，也可以是1/4周（90°）以下或1/5周（72°）以下。而且，以往一般的啟動(dòng)加注處理裝置每次進(jìn)行啟動(dòng)加注處理時(shí)，作為后處理，像上述那樣使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對(duì)啟動(dòng)加注輥的外周面整體（整周）噴射清洗液，因此，存在大量使用清洗液（通常為稀釋劑）的這種問(wèn)題。

另外，用于將被繞涂在啟動(dòng)加注輥的外周面上的抗蝕液刮落的刮削器存在下述問(wèn)題，即，該刮削器使被刮落的抗蝕液散落在周?chē)⒒蛉菀资箍刮g液附著并積存在刮削器本身上而在進(jìn)行清洗后的干燥處理時(shí)使抗蝕劑的顆粒轉(zhuǎn)移到啟動(dòng)加注輥的干凈的外周面上的問(wèn)題、難以將該刮削器與啟動(dòng)加注輥的接觸壓力調(diào)整或維持為最佳大小的問(wèn)題、以及加快刮削器的消耗劣化而縮短使用壽命的問(wèn)題等。

本申請(qǐng)人為了解決該問(wèn)題，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)有如下的啟動(dòng)加注處理法，即，為了進(jìn)行1次啟動(dòng)加注處理，使狹縫式噴嘴的噴出口和啟動(dòng)加注輥的上端隔開(kāi)規(guī)定的間隙地相對(duì)，從狹縫式噴嘴噴出恒定量的處理液或涂敷液（例如抗蝕液），并且使啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度，在該啟動(dòng)加注處理中使用啟動(dòng)加注輥的半周以下的部分表面區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理結(jié)束之后，遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗。

該啟動(dòng)加注處理法為，將啟動(dòng)加注輥的外周面沿其旋轉(zhuǎn)方向分開(kāi)成多個(gè)區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理中依次分配地使用上述的分開(kāi)區(qū)域（部分的表面區(qū)域），之后遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗。該一并清洗處理一邊利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)一邊使清洗機(jī)構(gòu)和干燥部動(dòng)作，遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗，在各啟動(dòng)加注處理時(shí)，不需要用于刮掉卷繞在啟動(dòng)加注輥表面的涂敷液的液膜的刮削器，能節(jié)省在啟動(dòng)加注處理后的清洗處理中所消耗的清洗液，并且也能在清洗處理時(shí)防止微粒的產(chǎn)生。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2004-167476

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2007-237046