[發明專利]靶材組件及其制造方法

有效

• 申請號: 201310375546.0
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN104416281B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;陳玉蓉
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K20/24
• 分類號: B23K20/24;B23K20/14;B23K20/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,駱蘇華

1.一種靶材組件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶材與背板；

對所述靶材的焊接面進行加工，在所述靶材焊接面的中心區域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周圍加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相對第二焊接平面凸出；還在所述靶材的第一、第二焊接平面之間加工出一連接面，使得所述第一、第二焊接平面之間平滑過渡，所述連接面為斜面；

對所述背板的焊接面進行加工，使所述背板的厚度從中心向四周逐漸減小；

將所述靶材、背板焊接在一起，其中，在焊接時，所述第一焊接平面嵌入背板的焊接面中且所述第二焊接平面接觸而不嵌入背板的焊接面；

去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材組件。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述提供靶材與背板的步驟中，所述靶材的第一焊接平面與第二焊接平面的距離在1.5～6毫米的范圍內。

3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，對所述靶材的焊接面進行加工的步驟還包括：

在所述靶材的第一、第二焊接平面上加工出平面螺紋。

4.根據權利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述平面螺紋為三角螺紋，所述螺紋的開設深度在0.61毫米，螺距為0.7，螺紋的截面角度為60度。

5.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述斜面的坡腳為135度。

6.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，對所述背板的焊接面進行加工，使所述背板的厚度從中心向四周逐漸減小的步驟包括：

在背板焊接面的中心區域加工出平坦表面；

減薄所述平坦表面以外的背板焊接面，形成圍繞所述平坦表面的斜面。

7.根據權利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述平坦表面呈圓形，所述斜面相對于水平線的角度在1～2度的范圍內，所述平坦表面的直徑在40～60毫米的范圍內。

8.一種如權利要求1～7任意一權利要求所述制造方法形成的靶材組件，其特征在于，包括：

靶材以及背板，所述靶材的第一焊接面嵌入所述背板的焊接面中。