[發明專利]一種材料外延摻雜的方法

無效

• 申請號: 201310374360.3
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN103515196A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 王悅湖;孫哲;張玉明;賈仁需;張義門
• 申請（專利權）人: 西安電子科技大學
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種材料外延摻雜的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

在含有氫氣的容器中加入碳化硅化合物并加熱，當溫度達到第一閾值后，在所述容器中加入預設流速的丙烷；

當所述容器溫度達到第二閾值后，利用所述丙烷和氫氣的混合氣體對所述碳化硅化合物進行刻蝕；

將氮氣和硅烷加入至所述容器中，并冷卻至室溫。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一閾值的范圍為1350℃-1450℃。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述丙烷的預設流速范圍為12ml/min-16ml/min。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二閾值的范圍為1500℃-1600℃。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述氮氣添加量與丙烷的比值范圍為200-210，所述硅烷的添加量與丙烷的比值范圍為2.5-3。