[發(fā)明專利]用于基板的自組裝的方法和依此獲得的設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310374241.8
• 申請(qǐng)日: 2013-08-23
• 公開（公告）號(hào): CN103762285A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: P·索薩;張文奇;S·阿米尼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: IMEC公司
• 主分類號(hào): H01L33/02
• 分類號(hào): H01L33/02;H01L33/00;H01S5/343;B82Y40/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張欣

1.一種在基板上定義具有不同表面液體張力屬性的區(qū)域的方法，該方法包括以下步驟：

a.提供帶有主表面（102）的基板（101），所述主表面（102）具有第一表面液體張力屬性，所述主表面至少部分地以籽晶層（103）所覆蓋，且還包括在所述籽晶層上形成的至少一個(gè)微凸塊（105），藉此將部分籽晶層暴露在外；

b.圖案化所暴露的籽晶層（103），藉此暴露部分所述主表面（102），并從所述籽晶層（103）形成至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107），所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107）封圍所述主表面（102）的區(qū)域并且還封圍所述至少一個(gè)微凸塊（105），以及；

c.化學(xué)處理所述基板的所述主表面（102），藉此在所述至少一個(gè)封閉環(huán)狀結(jié)構(gòu)（107）和所述至少一個(gè)微凸塊（105）的表面上形成第二表面液體張力屬性，所述第二表面液體張力屬性顯著不同于所述主表面（102）的所述第一表面液體張力屬性，其中所述第二表面液體張力屬性是液體疏離性的。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟（c）還包括在所述基板的所述主表面（102）上沉積材料（107）的步驟，所沉積的材料（107）被選中以為所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)和所述至少一個(gè)微凸塊的表面提供所述第二表面液體張力屬性。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所沉積的材料（107）是端硫基自組裝單分子層。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述材料（107）是從液相或氣相沉積的。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)和所述至少一個(gè)微凸塊的表面包括導(dǎo)電材料。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟（c）還包括清潔所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)和所述至少一個(gè)微凸塊的表面的步驟。

7.一種自組裝基板的方法，包括以下步驟：

a.提供如權(quán)利要求1所述的第一基板（101），其具有形成在主表面（102）上的至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107），

b.在所述第一基板（101）的主表面（102）上供給液體小滴（301）；

c.提供至少一個(gè)如權(quán)利要求1所述的第二基板（302），其具有至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（307），所述至少一個(gè)第二基板（302）的所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（307）中的至少一個(gè)具有和所述第一基板的所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107）中的至少一個(gè)相同的布局。

d.將所述至少一個(gè)第二基板（302）放置在所述液體小滴（301）上，藉此將所述至少一個(gè)第二基板（302）的所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（307）對(duì)準(zhǔn)所述第一基板（101）的對(duì)應(yīng)的至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107），以及；

e.加熱所述第一基板（101）和所述至少一個(gè)第二基板（302），藉此蒸發(fā)所述液體小滴（301），并回流所述微凸塊（105），藉此在所述第一基板（101）和所述至少一個(gè)第二基板（302）之間創(chuàng)建永久連接。

8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，步驟（b）中，所述液體小滴（301）被限制在所述第一基板（101）的所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107）中。

9.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，步驟（b）中，所述液體小滴的汽化點(diǎn)等于或低于所述至少一個(gè)微凸塊（105）中任一個(gè)的熔點(diǎn)。

10.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107，307）的對(duì)準(zhǔn)通過由分別設(shè)置在所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)的表面上和所述主表面上的不同表面液體張力屬性所產(chǎn)生的毛細(xì)作用力來驅(qū)使。

11.一種基板，包括：

a.籽晶層（103），至少部分地覆蓋基板（103）的主表面（102），所述主表面具有第一表面液體張力屬性，

b.形成于所述籽晶層上的至少一個(gè)微凸塊（105），以及；

c.形成于所述籽晶層（103）上的至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107），該閉環(huán)結(jié)構(gòu)封圍所述主表面（102）的區(qū)域并且封圍所述至少一個(gè)微凸塊（105）；

d.所述至少一個(gè)閉環(huán)結(jié)構(gòu)（107）和所述至少一個(gè)微凸塊（105）的表面的表面液體張力屬性顯著不同于所述主表面的所述第一表面液體張力屬性，所述第二表面液體張力屬性是液體疏離性的。