[發明專利]一種基板干燥裝置及基板清洗系統

有效

• 申請號: 201310373805.6
• 申請日: 2013-08-23
• 公開（公告）號: CN103472610A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 朱攀;王濤;陳啟超;關江兵;吳磊
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G03F7/16;B08B7/04;F26B21/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種基板干燥裝置，其特征在于，包括：

用于烘干基板上表面的第一烘干部件以及用于烘干基板下表面的第二烘干部件。

2.如權利要求1所述的基板干燥裝置，其特征在于，所述第一烘干部件為具有多個出風口的送風裝置，用于向基板上表面送出熱風。

3.如權利要求1所述的基板干燥裝置，其特征在于，所述第二烘干部件包括可供熱氣體流通的腔室，以及設置在腔室內的加熱單元；所述腔室的出風口與所述送風裝置的進風口氣體連通。

4.如權利要求3所述的基板干燥裝置，其特征在于，所述第二烘干部件的所述腔室內的加熱單元為多個，且在所述腔室內壁上的位置交錯設置，使所述腔室內形成彎曲的氣流通道。

5.如權利要求1所述的基板干燥裝置，其特征在于，所述第二烘干部件還包括設置在所述腔室內的多個擋片，所述多個擋片在腔室內壁上的位置交錯設置，使所述腔室內形成彎曲的氣流通道。

6.如權利要求5所述的基板干燥裝置，其特征在于，還包括氣泵，所述氣泵與所述第二烘干部件的所述腔室的進風口連接，用于向所述腔室泵入氣流。

7.如權利要求1～6任一項所述的基板干燥裝置，其特征在于，所述加熱單元為陶瓷加熱片或金屬加熱片。

8.一種基板清洗系統，其特征在于，包括：

傳送基板的傳送裝置；

沿傳送裝置傳送基板的方向依次設置的風刀裝置和如權利要求1～7任一項所述的基板干燥裝置。

9.如權利要求8所述的基板清洗系統，其特征在于，所述風刀裝置和基板干燥裝置之間設有隔板。

10.如權利要求8所述的基板清洗系統，其特征在于，還包括：設置于所述傳送裝置兩側的擋板。

11.如權利要求10所述的基板清洗系統，其特征在于，還包括：熱排風管道，位于所述送風裝置出風口的下風側的擋板。

12.如權利要求11所述的基板清洗系統，其特征在于，所述熱風排風管道的進風口具有擴口結構。

13.如權利要求8～12任一項所述的基板清洗系統，其特征在于，所述傳送裝置為具有支撐間隙的傳送帶。