[發明專利]一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法

有效

• 申請號: 201310371793.3
• 申請日: 2013-08-23
• 公開（公告）號: CN103489733A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 郭衛斌;薛函迎;柴云川;王瀏杰
• 申請（專利權）人: 南京華東電子真空材料有限公司
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

1.一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是該方法包括如下步驟:

1)陶瓷基座制備：按吸氣劑外徑尺寸要求制備帶凹槽的陶瓷片，并將陶瓷片進行必要的潔凈處理和烘干；

2)加熱絲制備：將加熱絲繞制成外徑小于陶瓷基座凹槽寬度的螺旋狀，并進行必要的潔凈處理；

3)絕緣漿料制備：將絕緣微粉與粘結劑溶液混合，配制絕緣漿料；

4)上下電極制備：將金屬片沖壓成型，使之可與陶瓷基座緊密配合，上下電極互不相碰并進行必要的潔凈處理；

5)熱子組件制備：將加熱絲盤入陶瓷基座，并且兩端伸出；然后將絕緣漿料倒入凹槽，并干燥、成瓷；將陶瓷基座上下表面金屬化；將上下電極與陶瓷基座釬焊成一整體，并且加熱絲的一端與上電極相連，加熱絲的另一端與下電極相連；

6)吸氣組件準備：將金屬片沖壓成型，使其具有一平坦底面和一個或多個略向軸心傾斜的錨定裝置；將錨定裝置放入壓制模具，添加吸氣粉末壓制成型并脫模；將吸氣組件在真空中燒結成型；

7)吸氣劑制備：將熱子組件與吸氣組件在真空或惰性氣體保護下通過釬焊連接成一整體。

2.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的陶瓷基座是95瓷或99瓷。

3.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的加熱絲是鎢絲或鉬絲或鎢鉬合金絲或鉬錸合金絲或鎢錸合金絲，絲徑0.005到0.5mm。

4.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的絕緣微粉是氧化鋁粉，粘結劑是質量濃度為1—3%的硝化棉乙酸丁酯溶液，氧化鋁粉與粘結劑的重量比為1:2—2:1。

5.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的上下電極有金屬鎳或可伐制成，厚度為0.2-0.6mm。

6.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的錨定裝置的材料為鎳或可伐，厚度為0.1-0.3mm。

7.根據權利要求1所述一種高可靠自帶熱子吸氣劑的制備方法，其特征是所述的吸氣粉末為由鋯、鈦、釔與釩、錳、鐵、鋁、鎳、鉬、鈷中選取的一種或多種成分的金屬粉末，其中鈦、釔、鋯的總重量與吸氣粉末總重量的百分比大于50%。