[發明專利]靶材的形成方法在審
| 申請號： | 201310371290.6 | 申請日： | 2013-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN104419899A | 公開（公告）日： | 2015-03-18 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;張亞光 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張亞利;駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形成 方法 | ||
1.一種靶材的形成方法，其特征在于，包括：
提供具有第一厚度的第一靶材坯體；
對所述第一靶材坯體進行至少兩次粗車，形成具有第二厚度的第二靶材坯體；
對所述第二靶材坯體進行精車，得到靶材。
2.如權利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，形成所述第二靶材坯體后，對所述第二靶材坯體進行精車前，還包括：對所述第二靶材坯體進行熱處理，釋放所述第二靶材坯體內的應力；或者，
得到靶材后，對所述靶材進行熱處理，釋放所述靶材內的應力。
3.如權利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，粗車的次數為三次。
4.如權利要求3所述的靶材的形成方法，其特征在于，每次粗車車削的厚度為0.1-1.5mm。
5.如權利要求4所述的靶材的形成方法，其特征在于，每次粗車車削的厚度為0.5mm。
6.如權利要求1所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的材料為Al、AlSi、AlCu或AlSiCu。
7.如權利要求2所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述熱處理包括：將所述第二靶材坯或所述靶材升溫至300-310℃，并保溫20-30min。
8.如權利要求1、4或5所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的厚度為5-25mm。
9.如權利要求8所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述靶材的厚度為15mm。
10.如權利要求9所述的靶材的形成方法，其特征在于，第一靶材坯體的厚度為17mm。
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