[發明專利]蒸發裝置和方法

有效

• 申請號: 201310370283.4
• 申請日: 2013-08-22
• 公開（公告）號: CN104233194A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 吳忠憲;江濟宇;陳世偉;嚴文材
• 申請（專利權）人: 臺積太陽能股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;孫征

1.一種蒸發裝置，包括：

腔室，被配置成其中包含至少一個待涂覆的襯底和至少一個與蒸發源相連接的散布噴嘴；

所述腔室具有至少一個限定有可調的孔的可調屏蔽件，所述屏蔽件設置在所述散布噴嘴和所述襯底的位置之間，所述孔在由面積、形狀和方向所構成的組中的至少一方面上是可調的，所述至少一個可調屏蔽件具有加熱器。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述腔室具有在涂覆所述襯底時使所述襯底移動經過所述孔的輸送機。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述至少一個可調屏蔽件包括沿著所述孔的至少一側布置的多個獨立的可移動板條。

4.根據權利要求3所述的裝置，還包括：用于每個相應的可移動板條的相應的線性致動器或伺服電機。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中：

所述腔室被配置成在低于大氣壓的局部真空壓力下運行；以及

所述線性致動器或所述伺服電機被配置成在所述腔室處于所述局部真空壓力下時被遠程調節。

6.根據權利要求4所述的裝置，還包括：被配置為操作所述線性致動器或所述伺服電機的控制單元。

7.根據權利要求6所述的裝置，還包括：位于包含所述噴嘴的歧管之上或與所述歧管相鄰接的至少一個加熱器、將蒸汽輸送至所述歧管的導管或控制對所述噴嘴的蒸汽供應的閥。

8.根據權利要求7所述的裝置，還包括：被配置為控制對所述至少一個加熱器的電流供給的控制單元。

9.一種蒸發裝置，包括：

腔室，被配置成其中包含至少一個待涂覆的襯底和至少一個與蒸發源相連接的散布噴嘴；以及

多個可移動板，被設置在所述至少一個散布噴嘴和所述至少一個襯底的位置之間，所述板限定有可調的孔，所述板中的至少一個具有加熱器。

10.一種方法，包括：

提供其中包含至少一個待涂覆的襯底和至少一個與蒸發源相連接的散布噴嘴的腔室；

調節至少一個可調屏蔽件以在由孔的面積和形狀所構成的組中的至少一個方面進行設定，所述屏蔽件設置在所述至少一個散布噴嘴和所述至少一個襯底之間；以及

在將蒸汽從所述噴嘴噴到所述襯底上之前或同時，加熱所述至少一個可調屏蔽件。