[發(fā)明專利]散熱器的制造方法及散熱器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310370172.3
• 申請(qǐng)日: 2013-08-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103635066A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 弗里德里克·克勒納
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H05K7/20
• 分類號(hào): H05K7/20
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種散熱器的制造方法，包括：

提供具有多個(gè)碳纖維和多個(gè)開(kāi)口的碳纖維織物，所述開(kāi)口從所述碳纖維織物的第一側(cè)延伸到所述碳纖維織物的第二側(cè)；并且

用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍，其中，所述金屬在所述碳纖維織物的所述第一側(cè)的沉積速率高于在所述碳纖維織物的所述第二側(cè)的沉積速率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，所述金屬包括銅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，所述開(kāi)口位于所述碳纖維織物的交叉點(diǎn)處。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括：

用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍，所述金屬與碳形成至少一個(gè)公共相，與銅形成至少一個(gè)公共相；并且

在用所述金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之后，并且在用銅對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之前，對(duì)所述碳纖維織物和所述金屬進(jìn)行退火。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括：

用第一金屬層對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍，所述第一金屬層包括與碳形成至少一個(gè)公共相、與鎳形成至少一個(gè)公共相的金屬；

在用所述第一金屬層對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之后用第二金屬層對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍，所述第二金屬層包括鎳；并且

在用所述第二金屬層對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之后，并且在用銅對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之前，對(duì)所述碳纖維織物、所述第一金屬層和所述第二金屬層進(jìn)行退火。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

在用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之后，對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行燒結(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

在用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍之后，將所述碳纖維織物布置在半導(dǎo)體元件上，使所述碳纖維織物的第一側(cè)朝向所述半導(dǎo)體元件；并且

通過(guò)電鍍處理將所述碳纖維織物結(jié)合到所述半導(dǎo)體元件，其中，通過(guò)所述多個(gè)開(kāi)口將金屬電解質(zhì)提供到所述碳纖維織物的第一側(cè)與所述半導(dǎo)體元件之間的界面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，

其中，所述半導(dǎo)體元件包括芯片或晶片。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，

其中，通過(guò)所述電鍍處理將所述碳纖維織物結(jié)合到所述半導(dǎo)體元件包括用金屬填充所述多個(gè)開(kāi)口的第一部分，所述方法還包括：

將所述半導(dǎo)體元件和所述碳纖維織物焊接到載體，由此用焊接金屬填充所述多個(gè)開(kāi)口的剩余部分。

10.一種散熱器的制造方法，包括：

提供具有多個(gè)金屬涂覆碳纖維和多個(gè)開(kāi)口的碳金屬?gòu)?fù)合物，所述開(kāi)口從所述碳金屬?gòu)?fù)合物的第一側(cè)延伸到所述碳金屬?gòu)?fù)合物的第二側(cè)；

將所述碳金屬?gòu)?fù)合物布置在半導(dǎo)體元件上，使所述碳金屬?gòu)?fù)合物的所述第一側(cè)朝向所述半導(dǎo)體元件；并且

通過(guò)電鍍處理將所述碳金屬?gòu)?fù)合物結(jié)合到所述半導(dǎo)體元件，其中，通過(guò)所述多個(gè)開(kāi)口將金屬電解質(zhì)提供到所述碳金屬?gòu)?fù)合物的第一側(cè)與所述半導(dǎo)體元件之間的界面。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，

其中，提供具有多個(gè)金屬涂覆碳纖維的碳金屬?gòu)?fù)合物包括：提供具有多個(gè)金屬涂覆碳纖維的碳銅復(fù)合物；并且

其中，所述金屬電解質(zhì)包括銅電解質(zhì)。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，

其中，所述開(kāi)口在所述碳金屬?gòu)?fù)合物所述第一側(cè)的部分比在所述碳金屬?gòu)?fù)合物的所述第二側(cè)的部分窄。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，提供所述碳金屬?gòu)?fù)合物包括：

提供具有多個(gè)碳纖維和多個(gè)開(kāi)口的碳纖維織物，所述開(kāi)口從所述碳纖維織物的第一側(cè)延伸到所述碳纖維織物的第二側(cè)；

用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，

其中，所述碳纖維織物的開(kāi)口位于所述碳纖維織物的交叉點(diǎn)處。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，

其中，用金屬對(duì)所述碳纖維織物進(jìn)行電鍍，使得所述金屬在所述碳纖維織物的第一側(cè)的沉積速率高于在所述碳纖維織物的第二側(cè)的沉積速率。