[發明專利]單晶爐雙加熱器組合電極結構

有效

• 申請號: 201310368358.5
• 申請日: 2013-08-21
• 公開（公告）號: CN103590115A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 毛靜;馬少林;王福敏
• 申請（專利權）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B15/14
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.單晶爐雙加熱器組合電極結構，其特征在于：包括與底部加熱器電連接的第一外部電極（11）、與主加熱器電連接的第二外部電極（12）以及位于第一外部電極（11）與第二外部電極之間（12）的絕緣件，所述第一外部電極（11）和所述第二外部電極（12）共用一個冷卻通道（123）。

2.如權利要求1所述的單晶爐雙加熱器組合電極結構，其特征在于：所述第一外部電極（11）與所述第二外部電極（12）均為筒狀且套裝，所述冷卻通道（123）開設于位于內層的外部電極。

3.如權利要求2所述的單晶爐雙加熱器組合電極結構，其特征在于：所述第二外部電極（12）位于內層，所述第一外部電極（11）內為臺階狀，所述第二外部電極（12）外設有凸緣（121），所述第二外部電極（12）通過所述凸緣（121）卡掛于所述第一外部電極（11）的臺階上。

4.根據權利要求1所述的單晶爐雙加熱器電極組合，其特征在于，所述第二外部電極（12）位于內層，所述第二外部電極（12）包括相連接的第一本體（120）和第二本體（122），所述冷卻通道（123）貫穿第二本體（122）并延伸至所述第一本體內（120），所述冷卻通道（123）位于第一本體（120）內的端部與所述第一外部電極（11）遠離第二本體（122）的端部平齊。

5.根據權利要求1所述的單晶爐雙加熱器電極組合，其特征在于，所述第二外部電極（12）位于內層，所述第二外部電極（12）包括相連接的第一本體（120）和第二本體（122），所述冷卻通道（123）貫穿第二本體（122）并延伸至所述第一本體（120）內，所述冷卻通道（123）位于第一本體（120）內的端部高于所述第一外部電極（11）遠離第二本體（122）的端部。