[發明專利]噴霧噴嘴單元

有效

• 申請號: 201310367263.1
• 申請日: 2013-08-21
• 公開（公告）號: CN103623962A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 鄭基澤;崔虎重;姜明成;宋旭
• 申請（專利權）人: SNU精密股份有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05B15/00;F16J15/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 董敏;王婧

技術領域

本發明涉及一種噴霧噴嘴單元，并且更具體地，涉及一種將蒸發的原材料噴灑到基片上以便將該原材料以薄膜的形式沉積在該基片上的噴霧噴嘴。

背景技術

可單獨地發光的有機發光顯示設備包括有機發光裝置，該有機發光裝置以矩陣的形式連接在掃描線與數據線之間以形成像素。該有機發光裝置包括陽極電極、陰極電極、和有機薄膜層，該有機薄膜層形成在陽極電極與陰極電極之間并包括電洞傳遞層（hole?transfer?layer）、有機發光層、和電子傳遞層。

與無機材料不同，在沉積該有機薄膜層的過程中所使用的有機材料并不需要高蒸汽壓力，而是在高溫下是易于被分解和變質的。由于這種材料的特性，該有機薄膜通過下述方式沉積在基片上：為由鎢、鈦、不銹鋼（SUS）等制成的容器填充該有機材料，并且對該容器加熱以使該有機材料蒸發。

將被蒸發以用于沉積該有機薄膜層的原材料均勻地噴灑到該基片上。為此，噴霧噴嘴聯接至容置有蒸發的原材料的容器的外壁，并且該容器中的原材料通過該噴霧噴嘴并由此被蒸發到該基片上。

圖1是示出了常規噴霧噴嘴的示例的視圖。參照圖1，常規噴霧噴嘴10通過螺紋聯接部分12等聯接至腔室20的外壁21。

由于腔室20和噴霧噴嘴10接觸通過噴霧孔11的蒸發的原材料，因此，該腔室20和噴霧噴嘴10由于在沉積過程期間從蒸發的原材料傳遞的熱量而具有高溫，并且當沉積過程完成時，該腔室20和噴霧噴嘴10返回至低溫。當該沉積過程反復進行時，腔室20和噴霧噴嘴10由于熱量而受到在膨脹和收縮之間交替的反復性的載荷。這種由于加熱而造成的反復性的載荷可能使將噴霧噴嘴10聯接至該腔室的外壁21的螺紋聯接部分12變松或者破裂，并且可能在噴霧噴嘴10與腔室的外壁21之間導致微小的裂縫。

在噴霧噴嘴與腔室之間的聯接部分中發生的前述損壞可能導致腔室內部的蒸發的原材料通過已損壞的部分泄漏，從而不僅損失昂貴的原材料而且也由于泄漏的原材料污染了除基片以外的其它區域。

發明內容

因此，本發明設想來解決前述問題，并且本發明的一方面提供了一種噴霧噴嘴單元，其中，用于噴灑蒸發的原材料的噴霧噴嘴和容置有原材料的腔室被密封住而不會受損，使得可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低生產成本，并且可防止原材料沉積在除基片以外的區域以由此防止由于原材料而導致的污染。

根據本發明的一方面，提供了一種噴霧噴嘴單元，其包括：噴嘴主體，該噴嘴主體包括噴霧孔，該噴霧孔內部地形成為豎直地穿透噴嘴主體并且蒸發的原材料經過該噴霧孔，并且該噴嘴主體穿透地聯接至容置有原材料的腔室的外壁；密封構件，該密封構件安裝在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且將噴嘴主體與腔室的外壁之間氣密地密封住以防止蒸發的原材料在噴嘴主體與腔室的外壁之間泄漏；墊圈構件，該墊圈構件聯接至噴嘴主體的放置在腔室的內部的下端部分；以及彈簧構件，該彈簧構件安裝在墊圈構件與腔室的外壁的內表面之間，并且朝向腔室的外壁和墊圈構件彈性地偏壓，使得噴嘴主體可緊密地接觸該腔室的外壁。

噴嘴主體可包括：第一主體，該第一主體插置在形成于腔室的外壁中的通孔中并且朝向腔室的內部突出；以及第二主體，該第二主體設置在第一主體的上部部分中，并且該第二主體具有比第一主體大的截面面積并且該第二主體朝向腔室的外部突出。

密封構件可包括：第一密封構件，該第一密封構件安裝在第二主體與腔室的外壁的外表面之間；以及第二密封構件，該第二密封構件安裝在彈簧構件與腔室的外壁的內表面之間。

墊圈構件可形成為具有“U”形形狀，噴嘴主體的下端部分可形成有從噴嘴主體的橫向側部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一對凹陷部分，并且墊圈構件與噴嘴主體可以以將墊圈構件裝配至凹陷部分的方式聯接。

密封構件可由銅材料制成。

附圖說明

結合附圖根據對示例性的實施方式進行的下列描述，本發明的上述和/或其它部分將變得清楚并且更容易被理解，其中：

圖1為示出了常規噴霧噴嘴的示例的視圖；

圖2為示出了根據本發明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；及

圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構件裝配在一起的視圖。

具體實施方式

下面，將參照附圖對根據本發明的噴霧噴嘴單元的實施方式進行描述。

圖2為示出了根據本發明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；并且圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構件裝配在一起的視圖。