[發明專利]鎢靶材的制作方法

有效

• 申請號: 201310366627.4
• 申請日: 2013-08-21
• 公開（公告）號: CN104416325B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;龔祖光
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎢靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供鎢靶材坯料，所述鎢靶材坯料包括濺射面和背面；

采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進行粗磨；

在進行所述粗磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面和所述背面進行半精磨；

在進行所述半精磨之后，采用金剛石砂輪對所述濺射面進行精磨；

在進行所述粗磨之后且在進行所述半精磨之前，所述制作方法還包括：對所述鎢靶材坯料進行線切割；

所述金剛石砂輪的目數為120目～150目，所述金剛石砂輪轉速為1000r/min至4000r/min，所述金剛石砂輪進給量為每次0.05mm以下，所述金剛石砂輪進給速度為300mm/min至800mm/min；

進行所述粗磨時，所述金剛石砂輪的轉速為1000r/min至2000r/min，進給量為每次0.02mm至0.05mm，進給速度為500mm/min至800mm/min。

2.如權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，進行所述半精磨時，所述金剛石砂輪的轉速為1000r/min至2000r/min，進給量為每次0.01mm至0.02mm，進給速度為450mm/min至500mm/min。

3.如權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，進行所述精磨時，所述金剛石砂輪的轉速為3500r/min至4000r/min，進給量為每次0.01mm以下，進給速度為300mm/min至450mm/min。

4.如權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進行所述粗磨、所述半精磨和所述精磨時，采用乳化液冷卻所述金剛石砂輪和所述鎢靶材坯料。

5.如權利要求1所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進行所述半精磨之后且在進行所述精磨之前，所述制作方法還包括：對所述背面進行鍍鎳處理。

6.如權利要求5所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在進行所述精磨之后，所述制作方法還包括：將背板與所述背面焊接在一起。

7.如權利要求6所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括：采用金剛石刀片對所述濺射面的邊緣進行精加工，以在所述濺射面的邊緣形成凹槽、斜面和圓弧中的一種或幾種。

8.如權利要求7所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述金剛石刀片的轉速為250r/min至350r/min，進給量為每次0.03mm至0.05mm，進給速度為0.04mm/min至0.06mm/min。

9.如權利要求6所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，在將背板與所述背面焊接在一起之后，所述制作方法還包括：采用金剛石刀片對所述背板進行半精加工，以在所述背板中形成凹槽和連接孔中的一種或者兩種。

10.如權利要求9所述的鎢靶材的制作方法，其特征在于，所述金剛石刀片的轉速為180r/min至220r/min，進給量為每次0.05mm至0.08mm，進給速度為0.08mm/min至0.12mm/min。