[發(fā)明專(zhuān)利]一種連續(xù)制備和轉(zhuǎn)移石墨烯的裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310365458.2
• 申請(qǐng)日: 2013-08-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103435035A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金虎;周振義;彭鵬;劉志成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州二維碳素科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B31/04
• 分類(lèi)號(hào): C01B31/04;C23C16/26;C23C16/54
• 代理公司: 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285
• 代理人: 鐘守期;吳曉萍

1.一種連續(xù)制備和轉(zhuǎn)移石墨烯的裝置，包括：

氣相沉積設(shè)備，包括：進(jìn)氣口、真空抽氣口、傳送部件、生長(zhǎng)基底、冷卻部件和沉積區(qū)加熱部件；

剝離設(shè)備，包括：貼膜裝置、剝離裝置和收卷裝置；

生長(zhǎng)基底回收設(shè)備，包括：清洗裝置和烘干裝置。

2.權(quán)利要求1的裝置，其中所述石墨烯生長(zhǎng)基底為銅板、鎳板和鉑板等金屬材料，優(yōu)選為銅板。

3.權(quán)利要求1或2的裝置，其中所述生長(zhǎng)基底的厚度為大于0.1mm，優(yōu)選0.5至3mm。

4.權(quán)利要求1或2的裝置，其中所述傳送部件包括傳送設(shè)備和傳送帶，傳送帶為耐高溫傳送帶，優(yōu)選其自身可以加熱。

5.權(quán)利要求1或2的裝置，其中所述冷卻部件將生長(zhǎng)有石墨烯的基底快速降至100℃以下。

6.權(quán)利要求1或2的裝置，其中所述貼膜裝置使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET）作為柔性基底。

7.權(quán)利要求1或2的裝置，其中所述剝離裝置使用氣泡剝離法剝離生長(zhǎng)基底。

8.一種連續(xù)制造和轉(zhuǎn)移石墨烯的方法，包括以下步驟：

（1）將氣相沉積設(shè)備抽真空，從進(jìn)氣口通入保護(hù)氣體；

（2）開(kāi)啟沉積區(qū)加熱部件，直至達(dá)到生長(zhǎng)溫度；并且開(kāi)啟冷卻部件，直至達(dá)到冷卻用的溫度；

（3）開(kāi)啟傳送部件，將生長(zhǎng)基底連續(xù)送入沉積區(qū)，并預(yù)熱；

（4）通入生長(zhǎng)氣體，進(jìn)行沉積；

（5）將生長(zhǎng)有石墨烯的生長(zhǎng)基底通入冷卻部件，冷卻至100℃以下；

（6）將已經(jīng)冷卻至室溫的生長(zhǎng)有石墨烯的生長(zhǎng)基底傳送至石墨烯分離設(shè)備，貼膜后進(jìn)行剝離，剝離后的石墨烯通過(guò)收卷裝置收卷；

（7）剝離后的生長(zhǎng)基底進(jìn)行清洗，清洗后的生長(zhǎng)基底烘干后再次用于沉積。

9.權(quán)利要求8的方法，其中剝離方法為氣泡剝離法，通過(guò)將貼合后試樣與直流電源的陰極聯(lián)通，惰性電極與電源的陽(yáng)極聯(lián)通，施加電壓，陰極產(chǎn)生氣泡而使生長(zhǎng)基體與石墨烯剝離。