[發明專利]柔性顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201310364813.4
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN103456900A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 楊帆;申智淵;付東
• 申請（專利權）人: TCL集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/77
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

技術領域

本發明屬于顯示器領域，尤其涉及一種柔性顯示裝置的制造方法。

背景技術

柔性顯示裝置是指在柔性基板上制備光電器件而得到的顯示裝置。由于柔性顯示裝置具有超薄、可卷曲、折疊、耐沖擊、抗震能力強、重量輕、體積小、攜帶方便等優點，受到了業界的高度關注，廣泛用于電致發光器件顯示、液晶顯示、電泳顯示等多種技術領域，應用前景十分可觀。

目前，對于在柔性基板上制備光電器件獲得柔性顯示裝置，通常有以下三種方法：

方式一：采用不進行任何處理、直接在柔性基板上制備光電器件的方法得到柔性顯示裝置。這種方法操作簡單，但是由于在柔性基板上制備光電器件的過程中，柔性基板容易彎曲，因此難以實現柔性顯示產品的大面積生產。

方式二：采用卷對卷（roll-to-roll?process）方法制備柔性顯示裝置。該方法與方式一存在相似之處：均為在沒經過任何處理的柔性基板上直接制備光電器件獲得柔性顯示裝置；不同的是，該方法采用在卷繞柔性基板的同時進行制備光電器件。理論上，運用該方法可以實現柔性顯示產品的大規模生產，但是由于使用該方法在柔性基板上生產有機發光器件的技術難度較大，目前現有技術難于實現。

方式三：采用常規用于制備光電器件的玻璃等作為載體襯底，將玻璃載體襯底與柔性基板粘貼結合、固定柔性基板，再在柔性基板上制備光電器件。在制備過程結束后，再把柔性光電器件從玻璃載體上分離。使用該方法制備柔性顯示裝置，由于玻璃載體襯底起著固定柔性基板的作用，因此在柔性顯示裝置的制備過程中，不發生變形、褶皺等，有效的解決了方式一存在的柔性基板容易彎曲的技術問題。

由于柔性基板存在易碎、易卷曲和變形等問題，第一、第二種方法均難以生產出優質的柔性顯示產品，且難以實現大面積生產。在實際生產過程中一般采用第三種方法制備柔性顯示裝置，即將柔性基板粘貼于玻璃等剛性載體襯底表面后，完成后續柔性顯示器件的制造工序，待器件制備完成后，再通過合適的剝離方法將剛性載體剝離，從而完成整個柔性顯示器的制作。所以，如何把柔性基板和剛性載體進行適當的粘附并剝離成為柔性顯示器制作的關鍵技術之一。

對此，研究者們進行了大量的研究。常見的剝離方法是在載體基板背面采用高能激光光束掃描，使粘結劑發生老化，粘著性能下降，從而使柔性基板能夠從剛性玻璃基板上剝離下來。但是由于這種方法需要高能激光掃描，導致生產效率較低，且成本很高，同時，高能激光掃描還有可能對制備的器件帶來一定的影響，進而影響柔性顯示產品的性能。

此外，研究者們還開發了其它的剝離方法，如在載體襯底和柔性基板之間制作金屬層、氧化物層、絕緣膜，或對粘結劑進行處理，然后再分別采用不同的方法將柔性基板與載體襯底剝離；或通過在載體襯底上形成具有非晶結構并含有氫的半導體膜，然后加熱使金屬層與氧化物層之間引起氫的擴散，使兩者之間應力改變而實現柔性基板與載體襯底的剝離。這些方法雖然可行，但是一定程度上增加了工藝的復雜性，增加了成本，不利于制作高質量的柔性顯示產品。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種柔性顯示裝置的制造方法，旨在解決使用載體襯底固定柔性基板后制備柔性顯示器件獲得柔性顯示產品的過程中，柔性基板與載體襯底剝離工藝復雜、剝離工藝條件可控性差、不利于制作高質量的柔性顯示產品、且成本高的問題。

本發明實施例是這樣實現的，一種柔性顯示裝置的制造方法，包括下述步驟：

提供一硬質載體襯底；

對所述硬質載體襯底的表面進行改性，嫁接有機官能團，以形成改性硬質載體襯底；

在所述改性硬質載體襯底的表面上涂覆一層預置的光刻膠，以形成具有粘性的光刻膠膜層；

在干燥后的所述光刻膠膜層上制備有機材料以形成柔性基板，使所述柔性基板與所述光刻膠膜層粘連；

在所述柔性基板上制作柔性顯示器件；

從所述改性硬質載體襯底背離所述柔性顯示器件的一側照射紫外線，讓光刻膠中的單體與改性硬質載體襯底的表面的有機官能團發生交聯聚合反應，使光刻膠牢牢地粘附在改性硬質載體襯底的表面；

在改性硬質載體襯底和柔性基板之間施加物理手段，以使柔性基板與改性硬質襯底及其光刻膠剝離。