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[發明專利]用于將InP薄膜轉移到加強基板上的方法在審

專利信息
申請號: 201310364487.7 申請日: 2013-08-20
公開(公告)號: CN103632924A 公開(公告)日: 2014-03-12
發明(設計)人: 奧雷莉·托贊 申請(專利權)人: 法國原子能及替代能源委員會
主分類號: H01L21/02 分類號: H01L21/02;H01L21/18
代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 代理人: 余剛;張英
地址: 法國*** 國省代碼: 法國;FR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 inp 薄膜 轉移 加強 基板上 方法
【權利要求書】:

1.一種用于將InP薄膜(11)轉移到加強基板(9)上的方法,所述方法包括由以下組成的步驟:

a)提供一種結構(6),所述結構包括InP的表面層(5)和在下面的摻雜InP薄層(4);

b)通過所述表面層(5)注入氫離子以在所述摻雜薄層(4)中產生弱化平面(7),從而使包括所述表面層(5)的薄膜(11)劃界;

c)使所述表面層(5)緊密接觸加強基板(9)而設置;以及

d)施加熱處理以在所述弱化平面(7)處獲得分裂并將所述薄膜(11)轉移到所述加強基板(9)上。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述表面層(5)摻雜有與所述摻雜薄層(4)的摻雜劑相同的摻雜劑。

3.根據權利要求1至2中任一項所述的方法,其特征在于,所述摻雜薄層(4)包含濃度在1017至1020原子/cm3之間的電活性摻雜劑,以致所述摻雜薄層(4)具有0.75至0.9之間的發射率。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的方法,其特征在于,步驟a)包括由以下組成的步驟:

i)提供電阻性InP的基板(1);

ii)在所述基板(1)中注入摻雜劑離子物質如S、Sn、Zn、Si、Te、Ge或Se以形成摻雜埋層(3),從而使在注入表面和所述埋層(3)之間的表面層(5)劃界;

iii)對所述埋層(3)施加熱處理以電激活所述摻雜劑離子物質并在InP材料中形成具有0.75至0.9之間的發射率的摻雜薄層(4),以獲得所述結構(6)。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的方法,其特征在于,步驟a)包括由以下組成的步驟:

j)提供基板(1),所述基板(1)包括在其表面上的晶種層(14);

k)在所述晶種層(14)上外延生長摻雜InP薄層(4);以及

l)在所述摻雜薄層(4)上外延生長InP表面層(5),所述摻雜薄層(4)具有0.75至0.9之間的發射率,以獲得所述結構(6)。

6.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,所述晶種層(14)包含電阻性InP。

7.根據權利要求1或3至6中任一項所述的方法,其特征在于,所述InP表面層(5)形成自電阻性InP,所述電阻性InP選自固有InP或者其摻雜由濃度為1015至1016Fe/cm3數量級的電激活Fe摻雜劑補償的InP。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的方法,其特征在于,步驟b)包括在一定能量和電流密度下注入氫離子的步驟,以致在所述摻雜薄層(4)中的注入溫度在120至180℃之間。

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