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[發明專利]一種聚醚類化合物、其制備方法及光刻膠組合物有效

專利信息
申請號: 201310363403.8 申請日: 2013-08-20
公開(公告)號: CN103497325A 公開(公告)日: 2014-01-08
發明(設計)人: 王雪嵐 申請(專利權)人: 京東方科技集團股份有限公司
主分類號: C08G65/48 分類號: C08G65/48;C08G65/332;G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 代理人: 王朋飛
地址: 100015 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 聚醚類 化合物 制備 方法 光刻 組合
【權利要求書】:

1.一種如通式(Ⅰ)所示的聚醚類化合物:

其中,R1為聚醚多元醇的聚醚主鏈;R2為氫或C1~C5烷基;n為3、4或5。

2.根據權利要求1所述的聚醚類化合物,其特征在于,所述R1中的聚合單體數為大于等于20且小于等于100的整數。

3.權利要求1或2所述聚醚類化合物的制備方法,其特征在于,由通式(I-1)所示的聚醚多元醇和通式(I-2)所示的丙烯酰氯類化合物,在催化劑的存在下于有機溶劑中進行酯化反應制得;所述催化劑為三乙胺;所述有機溶劑為四氫呋喃;

4.一種光刻膠組合物,包括可聚合單體,其特征在于,所述可聚合單體包括權利要求1或2所述的聚醚類化合物;所述可聚合單體中所含所述聚醚類化合物的重量百分比為10%~25%。

5.根據權利要求4所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述光刻膠組合物按照重量份包括以下原料:

6.根據權利要求5所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述光刻膠組合物還包括0.095~0.445份的助劑。

7.根據權利要求6所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述助劑為流平劑、消泡劑、表面活性劑、爽滑劑、硅烷偶聯劑或光穩定劑中的一種或多種。

8.根據權利要求5-7任一項所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述可聚合單體還包括雙季戊四醇五丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯或芳香族聚氨酯丙烯酸酯中的一種或多種。

9.根據權利要求5-7任一項所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述堿可溶性樹脂為堿溶性丙烯酸樹脂。

10.根據權利要求5-7任一項所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述光起始劑為酰基磷氧類、酮肟脂類、二苯甲酮類、安息香類、蒽醌類、芳香酮類或鐵芳烴類光起始劑中的一種或多種。

11.根據權利要求5-7任一項所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環戊酮或環己酮中的一種或多種。

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