[發(fā)明專利]一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310363020.0
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN103606809A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冉曾令;柳珊;饒?jiān)平?/a>;王彥君;盛龍;羅配良
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫成電光纖傳感科技有限公司
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;H01S3/067
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

1.一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，具體包括：

A1、在一段光纖的端面鍍一層波導(dǎo)材料薄膜；

A2、采用激光在光纖端面的鍍膜層形成一個微環(huán)；

A3、采用光纖熔融拉錐機(jī)將另一段光纖進(jìn)行熔融拉錐；

A4、將帶有微環(huán)的一段光纖接近熔融拉錐后的光纖，通過調(diào)節(jié)兩段光纖之間的距離形成一個微環(huán)諧振器。

2.如權(quán)利要求1所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述波導(dǎo)材料薄膜的折射率比所述光纖的折射率大。

3.如權(quán)利要求2所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述波導(dǎo)材料薄膜為氮化硅。

4.如權(quán)利要求1所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述步驟A1中在光纖端面的波導(dǎo)材料薄膜的厚度為2um～3um。

5.如權(quán)利要求1所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述步驟A2的具體實(shí)現(xiàn)方法為：采用深紫外激光器對所述光纖端面的鍍膜層進(jìn)行曝光，首先利用帶有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的掩膜板對激光器的光束進(jìn)行調(diào)整，所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)在掩膜版的不透光部分；采用調(diào)整過后的激光束對光纖端面的鍍膜層進(jìn)行曝光加工，得到與所述掩膜版上的環(huán)狀結(jié)構(gòu)一致但大小成一定比例縮小的微環(huán)。

6.如權(quán)利要求5所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述微環(huán)為圓形、橢圓形或者跑道型。

7.如權(quán)利要求1所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述步驟A3中熔融拉錐后的光纖直徑為2um～3um。

8.如權(quán)利要求1所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作方法，其特征在于，所述步驟A4的具體實(shí)現(xiàn)方法為：將帶有微環(huán)的光纖垂直固定在一個超高精密電控位移臺上，然后再用熔融拉錐后的光纖水平固定在另一個超高精密電控位移臺上，使拉錐后的光纖與微環(huán)所在光纖處于一個水平面上，通過調(diào)節(jié)兩個超高精密電控位移臺來控制兩者之間的距離，當(dāng)兩者之間的距離小于0.2um時(shí)，即可形成一個微環(huán)諧振器。

9.一種光纖微環(huán)諧振器的制作裝置，其特征在于，包括光纖鍍膜單元、激光器單元、熔融拉錐單元以及位移調(diào)節(jié)控制單元；所述光纖鍍膜單元用于對一段光纖的端面進(jìn)行鍍膜加工；所述激光器單元用于對光纖鍍膜單元鍍膜完成后的一段光纖的鍍膜層進(jìn)行激光曝光，得到包含微環(huán)的光纖；所述熔融拉錐單元用于對另一段光纖進(jìn)行熔融拉錐；所述位移調(diào)節(jié)控制單元用于固定包含微環(huán)的光纖以及熔融拉錐后的光纖，并且對包含微環(huán)的光纖以及熔融拉錐后的光纖之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)。

10.如權(quán)利要求9所述的一種光纖微環(huán)諧振器的制作裝置，其特征在于，所述位移調(diào)節(jié)控制單元包括兩臺超高精密電控位移臺，一臺用于固定包含微環(huán)的光纖，另一臺用于固定熔融拉錐后的光纖，所述位移調(diào)節(jié)控制單元將包含微環(huán)的光纖以及熔融拉錐后的光纖之間的距離調(diào)節(jié)至小于0.2um。