[發明專利]一種以拋代洗的藍寶石襯底晶片表面潔凈方法有效
| 申請號： | 201310362887.4 | 申請日： | 2013-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN103521474A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發明（設計）人： | 鄭偉艷;曾錫強 | 申請（專利權）人： | 曾錫強 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10;B24B29/02;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人： | 尉偉敏 |
| 地址： | 314300 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 拋代洗 藍寶石 襯底 晶片 表面 潔凈 方法 | ||
1.一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，所述表面潔凈方法包括以下步驟：
a）藍寶石襯底材料在拋光工序結束拋光后，將氧化液通入拋光機進行二次拋光，壓力為0.05-0.1MPa，流量500-700mL/min，拋光時間為120-150s；所述氧化液中的有效成分為電解金剛石膜所得的陽極強氧化液；
b）再將螯合劑與表面活性劑配制成的清洗液通入拋光機進行再次拋光，壓力為0.05-0.1MPa，流量為500-700mL/min，拋光時間為120-150s；
c）最后通入去離子水進行水拋，壓力位0.04-0.06MPa，流量為900-1200mL/min，時間120-180s；
d）將清洗完的藍寶石襯底材料從拋光機內取出，在甩干機內通入氮氣甩干、吹干。
2.根據權利要求1所述的一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，步驟a）所用氧化液中電解金剛石膜所得的陽極強氧化液的體積分數為10-20%。
3.根據權利要求1所述的一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，步驟b）中，螯合劑在清洗液中所占體積分數為1-1.5‰，表面活性劑在清洗液中所占體積分數為1.5-2‰，溶劑為去離子水。
4.根據權利要求1或3所述的一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，表面活性劑為脂肪醇聚氧乙烯醚。
5.根據權利要求1或3所述的一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，螯合劑為市售的FA/O型螯合劑。
6.根據權利要求1或2或3所述的一種以拋代洗的藍寶石襯底材料表面潔凈方法，其特征在于，去離子水為電子級超純水。
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