[發(fā)明專利]基于楔形玻璃條的微階梯反射鏡的制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310362780.X
• 申請日: 2013-08-19
• 公開（公告）號: CN103412358A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張茗璇;高教波;鄭雅衛(wèi);范喆;王生云;李明偉
• 申請（專利權(quán)）人: 西安應(yīng)用光學(xué)研究所
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于楔形玻璃條的微階梯反射鏡的制作方法，其特征在于，該方法包括以下工藝步驟：

第一步，對一矩形玻璃塊的六個(gè)面進(jìn)行研磨，采用常規(guī)光學(xué)零件加工工藝對矩形玻璃塊中最大尺寸的一個(gè)面進(jìn)行拋光，拋光面的面形精度為：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度為0.012μm；最大尺寸兩個(gè)面之間的平行度為30″；

第二步，選取n個(gè)矩形條且三組對面尺寸不等的玻璃條，對n個(gè)玻璃條的六個(gè)面進(jìn)行研磨，采用常規(guī)光學(xué)零件加工工藝對n個(gè)玻璃條中最大尺寸的兩個(gè)面和次大尺寸的兩個(gè)面進(jìn)行拋光，拋光面的面形精度為：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度均為0.012μm；最大尺寸兩個(gè)面之間和次大尺寸兩個(gè)面之間的平行度均為30″，最大尺寸面和次大尺寸面之間夾角為90°±30″；n≥2；

第三步，將玻璃條逐一光膠在矩形玻璃塊的拋光面上，使得玻璃條的一個(gè)次大尺寸面與矩形玻璃塊的拋光面相接觸；用紫外膠對所有玻璃條的相鄰面進(jìn)行固連；通過手壓方式使各玻璃條的另一次大尺寸面位于同一個(gè)水平面上；使用紫外燈固化紫外膠，之后從矩形玻璃塊上取下固化的玻璃條組合件，并且按序標(biāo)記各玻璃條；

第四步，將玻璃條組合件置于研磨臺(tái)上，研磨并拋光各玻璃條的一個(gè)次大尺寸面，使兩個(gè)次大尺寸面之間的夾角為θ，拋光面的面形精度為：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度為0.012μm；θ取決于所要求的階梯厚度差和水平推動(dòng)精度；

第五步，將研磨后的玻璃條組合件放置在烤箱中烘烤，當(dāng)溫度升至400℃后關(guān)閉烤箱電源，當(dāng)烤箱溫度自然降至常溫時(shí)取出玻璃條組合件并放置在裝有酒精的器皿中，待相鄰楔形玻璃條接觸面的紫外膠脫落后，用水清洗楔形玻璃條；

第六步，研磨并拋光矩形玻璃塊的拋光面，使拋光面與另一個(gè)最大尺寸面的夾角為θ，拋光面的面形精度為：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度為0.012μm；

第七步，用水清洗楔形玻璃塊，并將序號為1的楔形玻璃條光膠在楔形玻璃塊斜面（24）的一側(cè)，使該楔形玻璃條的斜面（14）與楔形玻璃塊的斜面（24）相接觸且兩個(gè)接觸面的角度互補(bǔ)；

第八步，按序選取一個(gè)楔形玻璃條使其與前一個(gè)序號的楔形玻璃條相鄰且光膠在楔形玻璃塊斜面（24）的一側(cè)，使該楔形玻璃條的斜面（14）與楔形玻璃塊的斜面（24）相接觸且兩個(gè)接觸面的角度互補(bǔ)；

第九步，用紫外膠對后兩個(gè)楔形玻璃條的相鄰面進(jìn)行固連，將楔形玻璃塊和固連后的楔形玻璃條構(gòu)成的組合件放置在階梯厚度差檢測儀上進(jìn)行測量調(diào)試，將當(dāng)前大序號的楔形玻璃條沿水平方向反復(fù)推動(dòng)直到階梯厚度差檢測儀測量出的階梯厚度差達(dá)到要求為止；再使用紫外燈固化紫外膠；

第十步，重復(fù)第八步和第九步，直至第n個(gè)楔形玻璃條與n-1個(gè)楔形玻璃條之間的紫外膠固化為止，之后從楔形玻璃塊上取下固化的楔形玻璃條組合件即微階梯反射鏡毛坯；

第十一步，將微階梯反射鏡毛坯在干燥柜中放置24小時(shí)以上，取出后用鍍膜設(shè)備在微階梯反射鏡毛坯的階梯面上鍍反射膜，最終形成微階梯反射鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于楔形玻璃條的微階梯反射鏡的制作方法，其特征在于，所述矩形玻璃塊的尺寸為110mm×110mm×40mm，所述玻璃條的尺寸為100mm×10mm×20mm，n=10，θ=34′23″，階梯厚度差為5μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于楔形玻璃條的微階梯反射鏡的制作方法，其特征在于，所述的矩形玻璃塊和玻璃條的材料均選用K9玻璃。