[發明專利]制造有機發光設備的方法在審
| 申請號： | 201310361686.2 | 申請日： | 2013-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN103915576A | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發明（設計）人： | 崔賢珠;李昌浩;吳一洙;高熙周;申大燁;崔柄河;李昌敃;李寅宰;田坪恩;趙世珍;尹振瑛;李寶羅;金范俊;李衍祐;沈芝慧;沈重元 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 于未茗;康泉 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 有機 發光 設備 方法 | ||
1.一種制造有機發光設備的方法，所述方法包括：
在基板上形成第一電極層；
使用CF4等離子體對所述第一電極層進行表面處理；
在經表面處理的第一電極層上形成含并五苯的第一公共層；
在所述第一公共層上形成有機發光層；
在所述有機發光層上形成第二公共層；以及
在所述第二公共層上形成第二電極層。
2.如權利要求1所述方法，其中形成所述第一公共層包括在所述經表面處理的第一電極層上堆疊空穴注入層。
3.如權利要求2所述方法，其中形成所述第一公共層進一步包括在所述空穴注入層上堆疊空穴傳輸層。
4.如權利要求2所述方法，其中形成所述第二公共層進一步包括在所述有機發光層上堆疊電子注入層。
5.如權利要求2所述方法，其中形成所述第二公共層進一步包括：
在所述有機發光層上堆疊電子傳輸層；以及
在所述電子傳輸層上堆疊電子注入層。
6.如權利要求5所述方法，進一步包括在所述電子傳輸層和所述有機發光層之間形成空穴阻擋層以阻擋空穴從所述有機發光層向所述電子傳輸層的移動。
7.如權利要求1所述方法，其中所述第二公共層包含4,7-二苯基-1,10-鄰菲咯啉。
8.如權利要求1所述方法，其中所述第一電極層包含銦錫氧化物。
9.一種制造有機發光設備的方法，所述方法包括：
在基板上形成含銦錫氧化物的第一電極層；
使用CF4等離子體對所述第一電極層進行表面處理；
在經表面處理的第一電極層上形成含并五苯的第一公共層；
在所述第一公共層上形成有機發光層；
在所述有機發光層上形成空穴阻擋層；
在所述空穴阻擋層上形成第二公共層；以及
在所述第二公共層上形成第二電極層。
10.如權利要求9所述方法，其中所述第二公共層包括順序堆疊的電子傳輸層和電子注入層。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
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H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
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H01L51-54 .. 材料選擇
