[發明專利]折射放大光學位移傳感器

無效

• 申請號: 201310361465.5
• 申請日: 2013-08-19
• 公開（公告）號: CN103438805A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 于占江;吳雅博;于化東;許金凱;丁戧;楊英歌
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.一種折射放大光學位移傳感器，包括激光光源（1）和PSD（9），其特征在于，折射放大三棱鏡（6）位于激光光源（1）和PSD（9）之間的反射光路上，激光光源（1）光軸與折射放大三棱鏡（6）軸線空間垂直，激光光源（1）發出的測量光入射折射放大三棱鏡（6）的入射角a大于等于70°、小于90°，PSD（9）感光面與自折射放大三棱鏡（6）出射的測量光垂直。

2.根據權利要求1所述的折射放大光學位移傳感器，其特征在于，在激光光源（1）之后、折射放大三棱鏡（6）之前依次同軸安置針孔濾波器（2）、準直透鏡（3）、孔徑光闌（4）。

3.根據權利要求1所述的折射放大光學位移傳感器，其特征在于，在折射放大三棱鏡（6）與PSD（9）之間的光路上安置有光斑矯正三棱鏡（7）；光斑矯正三棱鏡（7）的幾何參數、光學參數與折射放大三棱鏡（6）相同；光斑矯正三棱鏡（7）的軸線與折射放大三棱鏡（6）的軸線垂直；光斑矯正三棱鏡（7）與折射放大三棱鏡（6）的入射鏡面、出射鏡面相同。

4.根據權利要求3所述的折射放大光學位移傳感器，其特征在于，折射放大三棱鏡（6）與光斑矯正三棱鏡（7）組成一個棱鏡放大系統，在本發明之折射放大光學位移傳感器中能夠配置n個這樣的棱鏡放大系統，能夠實現光學位移的Kⁿ倍放大。