[發明專利]設備裝載端口的預約使用控制方法有效
| 申請號： | 201310360829.8 | 申請日： | 2013-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN103439893A | 公開（公告）日： | 2013-12-11 |
| 發明（設計）人： | 陳毅俊;明玉亮 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/04 | 分類號： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 設備 裝載 端口 預約 使用 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種設備裝載端口的預約使用控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
提供一批次需要被預約送往工藝設備的裝載端口的晶圓；
生產管理系統對任一所述晶圓進行預約，并將該晶圓的預約信息發送至所述設備；
所述設備對所述晶圓的預約信息進行確認；
當所述工藝設備確認預約成功后，所述晶圓所在的硅片盒被運送至所述裝載端口；
當所述設備確認預約失敗后，所述晶圓所在的硅片盒被運送至保管棚。
2.如權利要求1所述的設備裝載端口的預約使用控制方法，其特征在于，所述方法還包括：提供一設備自動化系統，由所述生產管理系統將所述預約信息發送給所述設備自動化系統，然后由所述設備自動化系統向所述設備發送指令，以要求所述設備回復是否預約成功的信息。
3.如權利要求1所述的設備裝載端口的預約使用控制方法，其特征在于，所述方法還包括：當所述設備確認預約失敗后，由所述設備自動化系統發送指令給所述生產管理系統，以解除對所述晶圓的預約。
4.如權利要求1所述的設備裝載端口的預約使用控制方法，其特征在于，采用搬送系統對所述硅片盒進行運送。
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