[發明專利]用于步進掃描光刻機的掃描狹縫裝置

有效

• 申請號: 201310360623.5
• 申請日: 2013-08-16
• 公開（公告）號: CN103439865A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 林棟梁;馬興華;任冰強;程偉林;張友寶;錢珍梅;屈建峰;孫征宇;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種用于步進掃描光刻機的掃描狹縫裝置，其特征在于由四個相同的刀片組件通過四個限位連接件連接而成，四個限位連接件將相鄰刀片組件兩兩緊連，四個刀片組件按旋轉對稱方式集成到兩個正交方向上，相鄰刀片組件的刀口相互垂直，四個刀口共面且與系統的光軸垂直，四個刀口中間形成的開口即為掃描狹縫。

2.根據權利要求1所述的掃描狹縫裝置，其特征在于所說的刀片組件自上而下依次由刀片部件（Za）、運動機構（Zb）和微調機構（Zc）組成，所述的刀片部件（Za）包括刀片（13）和刀架（12），所述的運動機構（Zb）由主基板（7）、次基板（10）、直線電機動子（9）、直線電機定子（8）、上導軌（11）、下導軌（15）、光柵尺（14），讀數頭支架（16）和讀數頭（17）構成，所述的微調機構（Zc)由微調塊（6）、帶有壓縮彈簧的螺釘（601）和頂絲（602）構成，上述元部件的位置連接關系如下：

所述的主基板（7）、下導軌（15）和讀數頭支架（16）相連接，所述的直線電機動子（9）和直線電機定子（8）構成一體，所述的次基板（10）和光柵尺（14）相連接；所述的主基板（7）固定在所述的微調塊（6）的安裝面上，直線電機定子（8）固定在主基板（7）的上表面，直線電機定子（8）與下導軌（15）之間的互相平行；所述直線電機動子（9）與次基板（10）相連，且直線電機動子（9）與光柵尺（14）之間互相平行；次基板（10）安裝在下導軌（16）的上表面，光柵尺（14）與下導軌（16）之間互相平行，直線電機定子（8）的驅動方向、光柵尺（14）的測量方向和下導軌（15）的導向同方向，上導軌（11）安裝到次基板（10）上，上導軌（11）與下導軌（15）相互垂直；所述的刀架（12）與上導軌（11）的上表面相連，刀片（13）安裝在刀架（12）上，所述的刀片（13）具有相鄰且相互垂直的刀口（d₁）和刀片面（d₂），所述的刀片（13）的刀口（d₁）為線邊緣，保證所述的刀口（d₁）與下導軌（15）的導向相同；刀片面（d₂）為相鄰刀片間的配合面，采用斜面；所述的刀口（d₁）、刀架的側邊（d₃）和（d₄）與上導軌（10）三者平行。

3.根據強烈要求1或2所述的掃描狹縫裝置，其特征在于所述的四個限位連接件將相鄰刀片組件兩兩進行緊連的具體結構是：限位連接件一端固定在一個刀片組件的刀架上，另一端布置兩個偏心軸承，分別位于相鄰刀片組件的刀架的兩側，通過兩個軸承間的預緊力對相鄰刀架進行夾緊，四個獨立的刀片組件形成一個結構耦合整體，四個刀片組件中相對的兩個刀片組件的刀口掃描方向相同，同時相鄰的兩刀片在一個方向上相連，另一個方向上相對運動。