[發明專利]用于對被測物進行電測試的檢測頭

在審

• 申請號: 201310359355.5
• 申請日: 2013-08-16
• 公開（公告）號: CN103592473A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 斯蒂芬·特羅茨;貢特爾·伯姆;阿希姆·韋蘭德
• 申請（專利權）人: 精煉金屬股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 時永紅;黃艷

1.一種用于對被測物，特別是晶片進行電測試的檢測頭，其具有至少兩個通過至少一個隔離件彼此間隔設置的導向板，該導向板具有沿其表面分散設置的導向孔，在這些導向孔中可移動地引導測試觸針以接觸被測物，其特征在于，所述隔離件（5）由多個沿導向板（2，3，4）的表面分散設置并固定在所述導向板（2，3，4）上的點支撐件（6）構成。

2.如權利要求1所述的檢測頭，其特征在于，所述導向板（2）中一個是第一導向板（2），另一導向板（3）是第二導向板（3），其中，所述第二導向板（3）是接近被測物的導向板（3），而所述第一導向板（2）是遠離被測物的導向板（2）。

3.如權利要求1或2所述的檢測頭，其特征在于，設有另一第三導向板（4），其鄰近所述第一導向板（2）設置，其中，各個測試觸針（12）對應于所述第一導向板（2）中的第一導向孔（9）、所述第二導向板（3）中的第二導向孔（10）和所述第三導向板（4）中的第三導向孔（11），其中，所述第二導向孔（10）和第三導向孔（11）彼此中心對齊，所述第一導向孔（9）相對于所述第二導向孔（10）和第三導向孔（11）的中心對齊錯開，或者所有三個導向孔（9，10，11）彼此相互錯開。

4.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，將所述點支撐件（6）構造為支撐柱（20），特別是抗壓和抗拉的支撐柱（20）。

5.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，每個所述點支撐件（6）都具有一縱向延伸方向（24）和相對于該縱向延伸方向橫向的、特別是垂直的多個在360°的角度范圍內分布的徑向方向（25）。

6.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，每個所述點支撐件（6）在至少一個徑向方向（25′）上的機械強度小于在其他徑向方向上的機械強度。

7.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，為了獲得較低的機械強度，每個所述點支撐件（6）都具有至少一個橫截面衰弱區（26）。

8.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，每個所述點支撐件（6）在其外周的彼此相對的側面上分別具有橫截面衰弱區（26）。

9.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，每個所述點支撐件（6）在縱向延伸方向（24）上具有第一端部區（21），與該第一端部區相連的中間區（22）和與該中間區相連的第二端部區（23），并且所述中間區（22）具有至少一個橫截面衰弱區（26）。

10.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，每個所述點支撐件（6）在所述橫截面衰弱區（26）的范圍內具有至少一個缺口（31）。

11.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，所述缺口（31）的深度延伸在與所述徑向方向（25）相同或基本相同的徑向方向（25′）上，該與所述徑向方向（25）相同或基本相同的徑向方向（25′）由于至少一個所述橫截面衰弱區（26）而具有較低的機械強度。

12.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，通過所述至少一個缺口（31）在相應的所述點支撐件（6）的兩個端部區（21，23）之間構成至少兩個支承臂（32）。

13.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，所述支承臂（32）相互平行地或基本上相互平行地伸展，并且所述支承臂（32）平行于或基本上平行于各個所述點支撐件（6）的縱向延伸方向（24）。

14.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，所述兩個端部區（21，23）具有端面（33，34），用以支承在所述導向板（2，3，4）上。

15.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，在相應的所述點支撐件（6）的至少一個所述端面（33，34）上設置扭轉止動裝置（36）的元件（35），其與隸屬于該扭轉止動裝置（36）的配對元件（49）一起作用在對應的導向板（2，3，4）上。

16.如前面任一項權利要求所述的檢測頭，其特征在于，在相應的所述點支撐件（6）的端面（33，34）上設置安裝孔（38，39），尤其是螺紋孔，穿過所述導向板（2，3，4）的固定元件（51）、特別是螺紋元件（53，54）以其桿部（53，56）的端部插入這些安裝孔中。