[發(fā)明專利]靶材噴砂夾具和靶材噴砂方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310359064.6
• 申請(qǐng)日: 2013-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN104369113B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學(xué)澤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B24C3/32
• 分類號(hào): B24C3/32;B24C9/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種靶材噴砂夾具，其特征在于，包括：

靶材卡盤，所述靶材卡盤設(shè)置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容納靶材；

蓋板，所述蓋板位于所述靶材的濺射區(qū)上，用于保護(hù)所述濺射區(qū)；

連接件，所述連接件的個(gè)數(shù)大于或者等于兩個(gè)，每個(gè)所述連接件包括第一端和第二端，所述第一端能夠固定在所述第一凹槽外的靶材卡盤上，所述第二端能夠固定在所述蓋板上，每個(gè)所述連接件與所述靶材的噴砂區(qū)具有距離。

2.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述第一凹槽的深度比所述靶材的厚度大0.2mm～0.3mm，所述第一凹槽側(cè)壁與所述靶材的邊緣之間的距離為0.2mm～0.3mm。

3.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板的材料為金屬，所述連接件的材料為金屬。

4.如權(quán)利要求3所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件的第一端通過螺紋連接方式固定在所述靶材卡盤上，所述連接件的第二端通過焊接方式固定在所述蓋板上。

5.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板的材料為有機(jī)玻璃或者PVC。

6.如權(quán)利要求3或5所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件的第一端通過螺紋連接方式固定在所述靶材卡盤上，所述連接件的第二端通過螺紋連接方式固定在所述蓋板上。

7.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述第一凹槽外的靶材卡盤上設(shè)置有兩個(gè)以上開口，所述開口的深度大于或者等于所述第一凹槽的深度。

8.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件與所述靶材的噴砂區(qū)的距離與所述連接件的寬度的比值范圍為1:1～2:1。

9.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述靶材卡盤的材料為鋁。

10.如權(quán)利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板設(shè)置有第二凹槽，所述第二凹槽的尺寸和形狀分別與所述靶材的濺射區(qū)的尺寸和形狀對(duì)應(yīng)。

11.一種靶材噴砂方法，其特征在于，包括：

提供權(quán)利要求1～10任一項(xiàng)所述靶材噴砂夾具，所述連接件的第二端固定在所述蓋板上；

將待進(jìn)行噴砂的靶材置于所述靶材卡盤的第一凹槽中，所述靶材的濺射區(qū)與所述第一凹槽的底面相背；

將所述蓋板覆蓋于所述濺射區(qū)上，并將所述連接件的第一端固定在所述第一凹槽外的靶材卡盤上；

對(duì)靶材的噴砂區(qū)進(jìn)行噴砂處理。