[發明專利]靶材噴砂夾具和靶材噴砂方法

有效

• 申請號: 201310359064.6
• 申請日: 2013-08-16
• 公開（公告）號: CN104369113B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B24C3/32
• 分類號: B24C3/32;B24C9/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種靶材噴砂夾具，其特征在于，包括：

靶材卡盤，所述靶材卡盤設置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容納靶材；

蓋板，所述蓋板位于所述靶材的濺射區上，用于保護所述濺射區；

連接件，所述連接件的個數大于或者等于兩個，每個所述連接件包括第一端和第二端，所述第一端能夠固定在所述第一凹槽外的靶材卡盤上，所述第二端能夠固定在所述蓋板上，每個所述連接件與所述靶材的噴砂區具有距離。

2.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述第一凹槽的深度比所述靶材的厚度大0.2mm～0.3mm，所述第一凹槽側壁與所述靶材的邊緣之間的距離為0.2mm～0.3mm。

3.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板的材料為金屬，所述連接件的材料為金屬。

4.如權利要求3所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件的第一端通過螺紋連接方式固定在所述靶材卡盤上，所述連接件的第二端通過焊接方式固定在所述蓋板上。

5.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板的材料為有機玻璃或者PVC。

6.如權利要求3或5所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件的第一端通過螺紋連接方式固定在所述靶材卡盤上，所述連接件的第二端通過螺紋連接方式固定在所述蓋板上。

7.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述第一凹槽外的靶材卡盤上設置有兩個以上開口，所述開口的深度大于或者等于所述第一凹槽的深度。

8.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述連接件與所述靶材的噴砂區的距離與所述連接件的寬度的比值范圍為1:1～2:1。

9.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述靶材卡盤的材料為鋁。

10.如權利要求1所述的靶材噴砂夾具，其特征在于，所述蓋板設置有第二凹槽，所述第二凹槽的尺寸和形狀分別與所述靶材的濺射區的尺寸和形狀對應。

11.一種靶材噴砂方法，其特征在于，包括：

提供權利要求1～10任一項所述靶材噴砂夾具，所述連接件的第二端固定在所述蓋板上；

將待進行噴砂的靶材置于所述靶材卡盤的第一凹槽中，所述靶材的濺射區與所述第一凹槽的底面相背；

將所述蓋板覆蓋于所述濺射區上，并將所述連接件的第一端固定在所述第一凹槽外的靶材卡盤上；

對靶材的噴砂區進行噴砂處理。