[發明專利]預空間變換器、空間變換器以及半導體裝置檢查設備

有效

• 申請號: 201310359048.7
• 申請日: 2013-08-16
• 公開（公告）號: CN103884874B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 崔允赫;吳光宰;金國鉉
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 余剛,李靜

相關申請的交叉引用

根據美國法典第35篇第119節，本申請要求于2012年12月21日提交的題為“預空間變換器、使用該預空間變換器制造的空間變換器以及包括該空間變換器的半導體裝置檢查設備（Pre?Space?Transformer,Space?Transformer?Manufactured?Using?the?Pre?Space?Transformer,and?Semiconductor?Device?Inspecting?Apparatus?Including?the?Space?Transformer）”的韓國專利申請序列No.10-2012-0150878的權益，在此通過引用將其整體結合于本申請中。

技術領域

本發明涉及一種預空間變換器、使用該預空間變換器制造的空間變換器、以及包括該空間變換器的半導體裝置檢查設備，并且更特別地，涉及一種能夠簡化空間變換器的結構并提高其制造效率的預空間變換器、使用該預空間變換器制造的空間變換器、以及包括該空間變換器的半導體裝置檢查設備。

背景技術

由于半導體集成電路裝置的集成化程度已增加，因而用于在半導體集成電路上執行檢查工藝的檢查設備也已需要高的精度。例如，探針設備已廣泛地用作典型的半導體集成電路芯片檢查設備。為了滿足用于高集成半導體集成電路芯片的檢查工藝，應實現連接至半導體集成電路芯片的探針引腳的細間距。為此，已必要地使用空間變換器來補償探針引腳的間距與半導體集成電路的間距之間的差異。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

(專利文獻1）韓國專利No.10-1048497

發明內容

本發明的一個目的是提供一種能夠簡化空間變換器結構的預空間變換器、使用該預空間變換器制造的空間變換器、以及包括該空間變換器的半導體裝置檢查設備。

本發明的另一個目的是提供一種能夠提高空間變換器的制造效率的預空間變換器。

本發明的又一個目的是提供一種其制造周期可縮短的空間變換器、以及包括該空間變換器的半導體裝置檢查設備。

根據本發明的示例性實施例，提供一種預空間變換器，包括：基板，具有第一表面和與第一表面相對的第二表面；以及獨立電極和共用電極，布置在第一表面上，其中，獨立電極和共用電極在構造單元圖案的同時重復地布置。

獨立電極可包括在相同平面上布置成彼此隔開的信號電極，并且共用電極可包括在相同平面上布置成彼此隔開的功率電極和接地電極。

獨立電極可包括呈島狀的信號電極，并且共用電極可包括呈盤狀的功率電極和接地電極，以圍住信號電極。

獨立電極可包括信號電極，共用電極可包括功率電極和接地電極，并且單元圖案可包括三個信號電極、僅圍住三個信號電極中任一個的一個功率電極、以及僅圍住三個信號電極中的另外一個的一個接地電極，其中，一個功率電極和一個接地電極以其中它們圍住三個信號電極中的其余一個的形式設置。

預空間變換器可進一步包括覆蓋第一表面和第二表面中的至少一者的保護性膜。

預空間變換器可進一步包括穿過基板的多個過孔（via），其中，所述過孔布置成形成柵格的形狀。

預空間變換器可進一步包括穿過基板的多個過孔；以及在第二表面上連接至所述過孔的電極焊盤。

根據本發明的另一個示例性實施例，提供一種用于補償半導體裝置與電路板之間的電路間距的差異的空間變換器，該空間變換器包括：基板，具有面向半導體裝置的第一表面和面向電路板的第二表面；獨立電極和共用電極，在構造一個單元圖案時布置在第一表面上；絕緣圖案，覆蓋第一表面，使得獨立電極和共用電極選擇性地敞開；電路圖案，電連接至絕緣圖案上的獨立電極和共用電極；以及連接引腳，連接至電路圖案從而連接至半導體裝置。

獨立電極可包括在相同平面上布置成彼此隔開的信號電極，并且共用電極可包括在相同平面上布置成彼此隔開的功率電極和接地電極。

獨立電極可包括呈島狀的信號電極，并且共用電極可包括呈盤狀的功率電極和接地電極，以圍住信號電極。

獨立電極可包括信號電極，共用電極可包括功率電極和接地電極，并且單元圖案可包括三個信號電極、僅圍住三個信號電極中任一個的一個功率電極、以及僅圍住三個信號電極中的另外一個的一個接地電極，其中，一個功率電極和一個接地電極以其中它們圍住三個信號電極中的其余一個的形式設置。