[發明專利]分光模塊

有效

• 申請號: 201310359016.7
• 申請日: 2008-06-05
• 公開（公告）號: CN103424187A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 柴山勝己;H·泰希曼;能野隆文;鈴木智史;D·希勒;U·施塔克
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本申請是申請日為2008年6月5日、申請號為200880000503.1、發明名稱為分光模塊的專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及對光進行分光并進行檢測的分光模塊。

背景技術

現有的分光模塊，已知有一種分光模塊，其具備雙凸透鏡，即塊狀的支撐體，并且在支撐體的一個凸面上設有衍射光柵等的分光部，在支撐體另一個凸面側上，設有光電二極管等的光檢測元件（例如，參照專利文獻1）。在這種分光模塊中，從另一凸面側入射的光在分光部被分光，分光后的光在光檢測元件被檢測。

專利文獻1：日本特開平第4-294223號公報

發明內容

然而，近年來，謀求分光模塊的小型化，要求能夠容易地大量生產。但是，在上述的分光模塊中，由于使用雙凸透鏡，即塊狀的支撐體，以作為本體部，因而難以小型化及大量生產。

因此，本發明的目的在于，提供一種能夠謀求小型化，并且能夠容易地大量生產的分光模塊。

為了達到上述目的，本發明的分光模塊的特征在于，具備：板狀的本體部，使從一個面入射的光透過；分光部，設在本體部的另一個面側，對透過本體部的光進行分光，并向一個面側反射；以及光檢測元件，設在一個面側，檢測被分光部分光并反射的光。

在該分光模塊中，由于本體部為板狀，因而能夠通過本體部的薄型化來謀求小型化。并且，由于本體部為板狀，因而例如能夠利用晶圓工藝來制造分光模塊。即，通過對作為多個本體部的晶圓，以矩陣狀設置分光部和光檢測元件，并切割該晶圓，能夠制造多個分光模塊。如此，能夠容易地大量生產分光模塊。

另外，在本發明的分光模塊中，優選在一個面側設有與光檢測元件電連接的配線。依照這種構成，不直接連接外部的配線和光檢測元件，而能夠經由設在本體部的配線將外部的配線和光檢測元件電連接。于是，在處理分光模塊時和與外部裝置連接時，抑制了局部的應力施加于光檢測元件，因而即使在謀求分光模塊的小型化的情況下，也能夠防止光檢測元件的剝離和分光模塊的破損。另外，通過將光檢測元件直接連接于設在本體部的配線，能夠縮短本體部與光檢測元件的距離，因而能夠防止被分光部分光并反射的光的衰減和雜散光的入射。

另外，在本發明的分光模塊中，優選在一個面和配線之間，設有吸收光的吸光層。依照這種構成，能夠防止被分光部分光并反射的光在配線和本體部之間漫反射，入射于光檢測元件。

另外，在本發明的分光模塊中，優選吸光層的表面（配線側的面）為粗糙面。依照這種構成，能夠進一步防止配線和本體部之間的漫反射光入射于光檢測元件。

另外，在本發明的分光模塊中，優選在一個面側設有與配線電連接的柔性基板。如果將柔性基板直接連接于光檢測元件，則尤其在謀求分光模塊的小型化的情況下，局部的應力容易施加于光檢測元件。但是，依照這種構成，由于經由設在本體部的配線將柔性基板和光檢測元件電連接，因而能夠抑制應力施加于光檢測元件。于是，即使在謀求分光模塊的小型化的情況下，也能夠防止光檢測元件的剝離和分光模塊的破損。

另外，在本發明的分光模塊中，優選本體部具有層疊的至少兩片透光性板。依照這種構成，通過將光檢測元件安裝于一個透光性板的工藝、將分光部安裝于另一個透光性板的工藝、以及將這些透光性板貼合的工藝，能夠制造分光模塊。即，例如不從晶圓的兩面側進行將光檢測元件和分光部安裝于晶圓的工藝，而是能夠分為僅從單面側進行的工藝。于是，能夠使分光模塊的制造工藝成為最適于晶圓工藝的工藝，能夠更加容易地大量生產。

另外，在本發明的分光模塊中，優選在相鄰的透光性板彼此（層疊后的透光性板彼此）之間的規定區域，設有吸收光的吸光膜。依照這種構成，能夠用吸光膜來吸收在本體部內行進的雜散光，因而能夠減少入射于光檢測元件的雜散光，能夠減小噪聲。

依照本發明，能夠謀求分光模塊的小型化，并且能夠容易地大量生產分光模塊。

附圖說明

圖1是第1實施方式的分光模塊的平面圖。

圖2是沿著圖1所示的II-II線的截面圖。

圖3是顯示衍射光柵的形狀的圖，（a）顯示閃耀光柵的形狀，（b）顯示二元光柵的形狀，（c）顯示全息光柵的形狀。

圖4是顯示制造透光性板時所使用的玻璃晶圓的圖，（a）顯示平面圖，（b）顯示側面圖。

圖5是顯示形成于透光性板的對準標記的位置的圖，（a）顯示上側的透光性板的對準標記，（b）顯示下側的透光性板的對準標記。