[發(fā)明專利]光波導(dǎo)元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310356493.8
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN103454723A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宮崎德一;加藤圭
• 申請（專利權(quán)）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/12;G02F1/035
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 李亞;穆德駿

本申請為2013年3月26日提交的、申請?zhí)枮?01180046334.7的、發(fā)明名稱為“光波導(dǎo)元件”的申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)元件，尤其涉及基板上所形成的光波導(dǎo)由傳播信號光的主波導(dǎo)和從該主波導(dǎo)去除不需要光的不需要光用波導(dǎo)構(gòu)成的光波導(dǎo)元件。

背景技術(shù)

在光通信領(lǐng)域、光計測領(lǐng)域及光信息處理領(lǐng)域，利用在鈮酸鋰等電介質(zhì)基板上形成有光波導(dǎo)的光波導(dǎo)元件。用于光波導(dǎo)元件的光波導(dǎo)如以常用于光調(diào)制器及光開關(guān)等的馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)為代表，形成有將光波導(dǎo)分支或合波的部分。

在將光波導(dǎo)合波的部分，如專利文獻1所示，若反相光合波，則放射模式光被放射到基板內(nèi)部。因此，以防止放射模式光與信號光再耦合為課題，設(shè)置屏蔽單元，或設(shè)置向外部導(dǎo)出放射模式光的光波導(dǎo)。

此外，如專利文獻2所示，在光波導(dǎo)的分支部，分支時在信號光中含有高次模式光的情況下，難以以適當(dāng)?shù)姆种П葘⑿盘柟夥种С蔀閱栴}，因此在分支前從在光波導(dǎo)中所傳播的信號光去除不需要的高次模式光。作為該去除方法，設(shè)置向外部導(dǎo)出高次模式光的光波導(dǎo)。

另一方面，如非專利文獻1所示，還提出了密集設(shè)置有多個光波導(dǎo)的密集型調(diào)制器結(jié)構(gòu)，在這種光波導(dǎo)元件中，形成有多個分支部及合波部。因此雖然能夠容易去除來自沿著光波導(dǎo)整體的外側(cè)配置的光波導(dǎo)的不需要光，但去除來自位于光波導(dǎo)整體的內(nèi)側(cè)的分支部及合波部的不需要光是非常困難的。

并且，為了實現(xiàn)光調(diào)制器等調(diào)制信號的寬頻帶化及驅(qū)動電壓的降低，將構(gòu)成光波導(dǎo)元件的基板設(shè)置為30μm以下的薄板，在這種薄板中，放射模式光等向基板內(nèi)放出的不需要光將基板本身作為平板波導(dǎo)而在其中傳播，因此與信號光再耦合的概率非常高。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2006-301612號公報

專利文獻2：日本特開2008-089875號公報

非專利文獻

非專利文獻1：Izutsu?et?al.integrated?optical?SSB?modulator/fr?equencyshifter,IEEE?Journal?of?quntum?electronics,vol.QE-17,No.11,1981,pp.2225-2227

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明要解決的課題在于提供一種光波導(dǎo)元件，能夠解決上述問題，即使在光波導(dǎo)密集的情況下，也能夠向基板外或光波導(dǎo)整體的外側(cè)高效地導(dǎo)出不需要光。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，技術(shù)方案1的發(fā)明的光波導(dǎo)元件，通過在基板上熱擴散高折射率物質(zhì)而形成光波導(dǎo)，該光波導(dǎo)由傳播信號光的主波導(dǎo)和從該主波導(dǎo)去除不需要光的不需要光用波導(dǎo)構(gòu)成，上述光波導(dǎo)元件的特征在于，該主波導(dǎo)構(gòu)成為在主馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)中組裝有副馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)，該不需要光用波導(dǎo)配置為將在該主馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)中傳播的高次模式光作為該不需要光而從該主波導(dǎo)去除、并向該基板外或該光波導(dǎo)整體的外側(cè)導(dǎo)出，并且在該不需要光用波導(dǎo)與該主馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)的一部分交叉的交叉部，該不需要光用波導(dǎo)隔著該主馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)而被斷開，將在該交叉部斷開的該不需要光用波導(dǎo)連接的直線與該主馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)交叉的交叉角為3度以上且177度以下。

技術(shù)方案2的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1所述的光波導(dǎo)元件中，在該交叉部斷開的該不需要光用波導(dǎo)的端部與該主波導(dǎo)的距離為10μm以上。

技術(shù)方案3的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1或2所述的光波導(dǎo)元件中，該不需要光用波導(dǎo)的寬度在該交叉部剛交叉之后比即將交叉之前寬。

技術(shù)方案4的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1至3中任一項所述的光波導(dǎo)元件中，該基板的厚度為30μm以下。

發(fā)明效果

根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，在不需要光用波導(dǎo)與主波導(dǎo)交叉的交叉部，該不需要光用波導(dǎo)隔著該主波導(dǎo)而被斷開，因此能夠抑制由于不需要光用波導(dǎo)與主波導(dǎo)接觸而導(dǎo)致不需要光與信號光再耦合，并且不需要光能夠橫穿主波導(dǎo)而向基板外或光波導(dǎo)整體的外側(cè)導(dǎo)出。尤其，還能夠抑制由于不需要光與信號光再耦合而導(dǎo)致光波導(dǎo)元件的消光比、信號串?dāng)_等光學(xué)特性劣化。將在交叉部斷開的不需要光用波導(dǎo)連接的直線與主波導(dǎo)交叉的交叉角為3度以上且177度以下，因此能夠抑制不需要光與主波導(dǎo)再耦合。