[發(fā)明專利]一種晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310354739.8
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN103400238A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莫保章;邵雄;席與凌
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04;G01R1/073
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法。

背景技術(shù)

晶圓測試的目的，是對晶圓上的每顆晶粒進行電性測試，以淘汰晶圓上的不合格晶粒。晶圓測試的常規(guī)技術(shù)是用一種晶圓探針卡來測試，晶圓測試時會用到不同類型的探針卡，而探針卡的使用管理目前主要靠人工來完成，這種人工管理方式勢必存在效率低、人為判斷出錯的風險。

因此，需要一種新的及時有效的探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法來對探針卡進行管理，以滿足高效的晶圓代工產(chǎn)業(yè)的需要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法，取代人工管理的方式，避免人為判斷出錯的風險，提高工業(yè)效率。

為解決上述問題，本發(fā)明提出一種晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)，包括：

分類單元，用于按照預定義分類方式對各探針卡分類；

狀態(tài)管理單元，用于監(jiān)控和管理各探針卡的各種狀態(tài)；

分發(fā)單元，用于根據(jù)所述分類單元的分類信息以及狀態(tài)管理單元的狀態(tài)，檢查所述待處理的探針卡是否適合晶圓生產(chǎn)線上使用，若待處理的探針卡適合使用，則將所述待處理的探針卡送入晶圓生產(chǎn)線并將所述待處理的探針卡的狀態(tài)切換至使用狀態(tài)；若待處理的探針卡不合適使用，則根據(jù)所述待處理的探針卡的狀態(tài)將所述待處理的探針卡送入指定流程并切換所述待處理的探針卡的狀態(tài)。

進一步的，所述分發(fā)單元還用于將所述待處理的探針卡的分發(fā)過程中的各個狀態(tài)更新到所述狀態(tài)管理單元中。

進一步的，所述各種狀態(tài)包括：使用、測試、空閑、待保養(yǎng)、保養(yǎng)、待維修、維修、待檢查、檢查、存放、入庫、報廢。

進一步的，所述指定流程包括測試、待保養(yǎng)、保養(yǎng)、待維修、維修、待檢查、檢查、存放、入庫、報廢中的至少一種。

進一步的，所述狀態(tài)管理單元設(shè)有管理權(quán)限，所述管理權(quán)限用于對不同用戶開放探針卡狀態(tài)管理的不同權(quán)利范圍。

進一步的，所述管理權(quán)限包括工藝工程師權(quán)限以及生產(chǎn)線操作工權(quán)限，所述工藝工程師權(quán)限包括切換探針卡的測試、待保養(yǎng)、保養(yǎng)、待維修、維修、待檢查、檢查、存放、報廢狀態(tài)；所述操作工權(quán)限包括切換探針卡的使用、空閑、待保養(yǎng)、保養(yǎng)、待維修、維修、待檢查狀態(tài)、檢查、存放、入庫狀態(tài)。

進一步的，所述分發(fā)單元檢查待處理的探針卡是否適合晶圓生產(chǎn)線上使用的步驟包括：判斷所述晶圓生產(chǎn)線機臺狀態(tài)是否可用；判斷待處理的探針卡的類型是否符合晶圓生產(chǎn)線指定的類型以及判斷待處理的探針卡的狀態(tài)是否為空閑。

進一步的，所述晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)還包括歷史信息查詢單元，用于提供每一探針卡的歷史管理信息的查詢。

進一步的，所述晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)還包括報警單元，用于在所述待處理的探針卡不適合使用時報警。

本發(fā)明還提供一種上述之一的晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)的使用方法，包括：

采用所述分類單元對各探針卡分類；

采用狀態(tài)管理單元實時監(jiān)控和管理各探針卡的各種狀態(tài)；

采用分發(fā)單元對待處理的探針卡進行檢查，若待處理的探針卡適合使用，則將所述待處理的探針卡送入晶圓生產(chǎn)線并將所述待處理的探針卡的狀態(tài)切換至使用狀態(tài)；若待處理的探針卡不合適使用，則根據(jù)所述待處理的探針卡的狀態(tài)將所述待處理的探針卡送入指定流程并切換所述待處理的探針卡的狀態(tài)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法，通過分類單元對各探針卡分類；通過狀態(tài)管理單元實時監(jiān)控和管理各探針卡的各種狀態(tài)；通過分發(fā)單元對待處理的探針卡進行檢查，若待處理的探針卡適合使用，則將所述待處理的探針卡送入晶圓生產(chǎn)線并將所述待處理的探針卡的狀態(tài)切換至使用狀態(tài)；若待處理的探針卡不合適使用，則根據(jù)所述待處理的探針卡的狀態(tài)將所述待處理的探針卡送入指定流程并切換所述待處理的探針卡的狀態(tài)。因而本發(fā)明的晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)及其使用方法，實質(zhì)上提供了一種從探針卡的建立、使用到使用結(jié)束甚至報廢過程的管理方案，管理過程中系統(tǒng)自動判斷探針卡條件后再開始生產(chǎn)，取代了人工管理的方式，避免了人為判斷耗時耗力以及容易出錯的問題，提高了工業(yè)效率。

附圖說明

圖1所示為本發(fā)明具體實施例的晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)的架構(gòu)圖；

圖2所示為本發(fā)明具體實施例的探針卡狀態(tài)示意圖；

圖3所示為本發(fā)明具體實施例的探針卡狀態(tài)切換和權(quán)限管理圖；

圖4所示為本發(fā)明具體實施例的晶圓測試探針卡管理系統(tǒng)的使用方法流程圖；