[發(fā)明專利]廢氣處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310354106.7
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN104338411A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發(fā)明（設計）人: 馮五裕
• 申請（專利權）人: 東服企業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本發(fā)明涉及廢氣凈化處理的技術領域，特別涉及一種廢氣處理裝置。

背景技術

周知，在半導體晶圓廠、光電廠、面板廠、太陽能廠于產(chǎn)制例如是晶圓或是各式面板等產(chǎn)品的過程中，有時會生成有害的廢氣。例如：以半導體晶圓廠來說，其制作過程中所生成的有害廢氣包含有單硅烷(SiH₄)、氯氣(Cl₂)、PFC(全氟化合物(perfluoro－compounds))等，在處理含有上述氣體的廢氣時，一般是使用濕式法、吸附法、加熱分解法及燃燒法等4種方法。

其中，加熱分解法是指在廢氣處理槽內(nèi)設置加熱器，而加熱器在廢氣處理槽內(nèi)形成一加熱腔室，當有害廢氣進入廢氣處理槽內(nèi)到達加熱腔室時，通過加熱器以熱輻射的方式加熱有害廢氣，迫使有害廢氣中所含有害物質(zhì)接受高溫催化，而分解成無害物質(zhì)；而濕式法是指使有害廢氣通過設置有多個灑水器的水洗室，憑借灑水器所噴灑的水幕與有害廢氣接觸，將有害廢氣中所含可溶于水的有害物質(zhì)加以溶解，以達到凈化有害廢氣的效果；至于燃燒法是指利用火焰燃燒有害廢氣，以達到凈化有害廢氣的效果，由于用來提供火焰燃燒的燃氣是將甲烷(CH₄)、乙烷(C₂H₆)、丙烷(C₃H₈)等燃料和空氣以既定比例混合而成，其中甲烷燃燒后會產(chǎn)生例如是一氧化碳(CO)等有害氣體，造成二次污染。因此，目前在以環(huán)保為前提而采取的半導體制作過程廢氣處理方式，是利用加熱分解法搭配濕式法，來達到凈化廢氣的效果。

然而，由于傳統(tǒng)的廢氣處理裝置內(nèi)缺乏延滯有害廢氣通過時間的設計，迫使有害廢氣在通過廢氣處理槽內(nèi)接受加熱的時間較為短暫，導致在以加熱分解法凈化有害廢氣時，由于有害廢氣接受加熱時間的不足，導致有害廢氣中的有害物質(zhì)難以完全催化，進而影響到有害廢氣的凈化效率，因此，如何能延滯有害廢氣在廢氣處理槽內(nèi)接受加熱的時間，進而提升有害廢氣的凈化效率，已成為熟悉本技術領域人士所應面對的待以改善的重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的旨在提供一種廢氣處理裝置，通過延滯有害廢氣在廢氣處理槽內(nèi)受熱凈化的時間，進而提升有害廢氣的凈化效率。

為能實現(xiàn)上述目的并解決問題，本發(fā)明的廢氣處理裝置的技術手段，包括：一廢氣處理槽，形成一廢氣進氣口及一廢氣出氣口，且該廢氣處理槽內(nèi)的四周環(huán)繞配置一環(huán)狀加熱器，該環(huán)狀加熱器內(nèi)設置一加熱棒，該環(huán)狀加熱器與加熱棒之間形成一加熱腔室；一隔板，穿設于環(huán)狀加熱器與加熱棒之間，該隔板于加熱腔室內(nèi)間隔形成一氣體流道。其中，該氣體流道的一進氣端連通廢氣進氣口，該氣體流道的一出氣端則通過加熱腔室連通廢氣出氣口，廢氣自廢氣進氣口經(jīng)由氣體流道通過加熱腔室流向廢氣進氣口。

依此，本發(fā)明是經(jīng)由在環(huán)狀加熱器與加熱棒之間設置隔板進而形成的氣體流道，并利用該氣體流道延滯有害廢氣通過加熱腔室的時間，使廢氣能充分得到加熱，以凈化有害廢氣中所含有害物質(zhì)，進而避免污染環(huán)境。

在實施上，本發(fā)明還包括：

該氣體流道為迂回形流道。依此，以延滯有害廢氣經(jīng)由氣體流道通過加熱腔室的時間，使有害廢氣在加熱腔室得到充分加熱，進而提升廢氣的凈化效率。

該隔板包含一外隔板及一內(nèi)隔板，該外隔板穿設于環(huán)狀加熱器與加熱棒之間，該內(nèi)隔板穿設于外隔板與加熱棒之間，該氣體流道是經(jīng)由外隔板及內(nèi)隔板于加熱腔室內(nèi)間隔而形成。其中，該氣體流道包含一第一氣體流道、一第二氣體流道及一第三氣體流道，該第一氣體流道形成于環(huán)狀加熱器與外隔板之間，該第二氣體流道形成于外隔板與內(nèi)隔板之間，該第三氣體流道形成于內(nèi)隔板與加熱棒之間，該氣體流道的進氣端依序經(jīng)由第一氣體流道、第二氣體流道及第三氣體流道連通出氣端。依此，通過外隔板及內(nèi)隔板在加熱腔室間隔形成氣體流道，進而延滯有害廢氣通過加熱腔室的時間，以提升有害廢氣的凈化效率。

還包含一水洗室，該水洗室是設置于廢氣進氣口的一端或廢氣出氣口的一端。其中該水洗室還可為多個，所述水洗室是分別設置于廢氣進氣口的一端及廢氣出氣口的一端。依此，利用水洗室將有害廢氣中可溶于水的有害物質(zhì)加以溶解，同時冷卻加熱后的廢氣，以利于排放至外界大氣中，而不會造成環(huán)境的污染。

還包含一高壓空氣進氣口，形成于廢氣處理槽上且連通氣體流道的進氣端。依此，利用高壓空氣帶動有害廢氣通過氣體流道，并提供有害廢氣中所含有害物質(zhì)在接受高溫催化時需要的氧氣。

該廢氣處理槽外部包覆有一隔熱層。依此，能減少廢氣處理槽在處理有害廢氣時所發(fā)出的高溫影響到外界環(huán)境。