[發明專利]形成有機層的裝置以及使用其制造有機發光顯示器的方法

在審

• 申請號: 201310350084.7
• 申請日: 2013-08-13
• 公開（公告）號: CN103811524A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 李相雨;韓潔;沈橞娟;金孝妍;李欣承;宋河珍;尹智煥
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;張川緒

本申請要求在2012年11月7日提交的第10-2012-0125717號韓國專利申請的優先權，通過引用將該韓國專利申請的全部內容包含于此。

技術領域

本公開涉及一種形成有機層的裝置以及使用該形成有機層的裝置制造有機發光顯示器的方法，所述形成有機層的裝置能夠一起執行沉積工藝和轉移印刷工藝來形成有機層。

背景技術

在有機發光顯示器中，空穴和電子分別通過陽極和陰極注入到有機層中，并在有機層中復合以產生激子。當激子從激發態返回基態時，激子作為釋放的光能發射。

為了使用有機發光顯示器實現色彩，有機層典型地包括紅光發射層、綠光發射層和藍光發射層。通常通過沉積工藝或轉移印刷工藝來形成紅光發射層、綠光發射層和藍光發射層。

沉積工藝允許從沉積源單元蒸發的沉積材料沉積在具體的區域中，由此形成有機層。然而，使用這樣的工藝來形成有機層所需的時間通常較長。

由于制備紅色膜、綠色膜和藍色膜并按順序轉移這三種膜，因此轉移印刷工藝需要三個單獨的轉移印刷步驟。在這種情況下，對每種色彩執行轉移印刷工藝，因此轉移印刷工藝通常是復雜的。另外，在針對每種色彩的轉移印刷工藝中產生的殘余物對后續的轉移印刷工藝產生影響。

發明內容

本公開提供了一種形成有機層的裝置，所述裝置能夠一起執行沉積工藝和轉移印刷工藝。

本公開提供了一種使用有機層形成裝置來制造有機發光顯示器的方法。

本發明構思的實施例提供了一種有機層形成裝置。所述裝置包括：供體膜供應部件，被構造為提供供體膜，供體膜包括基體基板、設置在基體基板上的轉移層和設置在轉移層上的保護膜；保護膜撤回部件，被構造為從供體膜去除保護膜；轉移印刷工藝部件，被構造為將供體膜的轉移層轉移到轉移基板上以形成第一有機層；第一沉積部件，被構造為通過第一沉積工藝在其上形成有第一有機層的轉移基板上形成第二有機層；第二沉積部件，被構造為通過第二沉積工藝在其上形成有第二有機層的轉移基板上形成第三有機層；以及供體膜撤回部件，被構造為撤回供體膜。供體膜供應部件、保護膜撤回部件、轉移印刷工藝部件、第一沉積部件、第二沉積部件和供體膜撤回部件依次布置為串聯連接。

轉移基板被構造為在進入到供體膜供應部件之后，從供體膜供應部件轉移到供體膜撤回部件。

轉移印刷工藝部件和供體膜撤回部件保持在比第一沉積部件和第二沉積部件的真空狀態低的真空狀態下。

所述裝置還包括設置在保護膜撤回部件和轉移印刷工藝部件之間的工藝支撐部件，工藝支撐部件保持在比第一沉積部件和第二沉積部件的真空狀態低的真空狀態下。

本發明構思的實施例提供了一種制造有機發光顯示器的方法。所述方法包括：將包括形成有第一電極的多個像素區域的絕緣基板提供至有機層形成裝置的供體膜供應部件，所述有機層形成裝置包括依次布置為串聯連接的供體膜供應部件、保護膜撤回部件、轉移印刷工藝部件、第一沉積部件、第二沉積部件和供體膜撤回部件；使用供體膜供應部件提供供體膜，所述供體膜包括基體基板、設置在基體基板上的轉移層和設置在轉移層上的保護膜；使用保護膜撤回部件去除保護膜；使用轉移印刷工藝部件將轉移層轉移到在像素區域的一部分中的第一電極上以形成第一有機層；使用第一沉積部件將第一有機材料沉積到像素區域的另一部分中的第一電極上以形成第二有機層；使用第二沉積部件將第二有機材料沉積到像素區域的剩余部分中的第一電極上以形成第三有機層；以及使用供體膜撤回部件撤回供體膜。

所述方法還包括將激光束照射到基板上。

根據以上內容，有機層形成裝置可以防止轉移層被污染，由此防止有機層中的缺陷。因此，通過使用有機層形成裝置的方法可以提高有機發光顯示器的可靠性。

附圖說明

通過參照以下在結合附圖考慮時進行的詳細描述，本公開的以上和其他優點將會變得顯而易見，在附圖中：

圖1是示出了有機發光顯示器的剖視圖；

圖2和圖3是示出了用于形成圖1中示出的有機發光顯示器的有機層的有機層形成裝置的實施例的示意圖；

圖4至圖10是示出了根據本公開的實施例的制造有機發光顯示器的方法的剖視圖。

具體實施方式