[發明專利]吸引夾持器及具備其的移載裝置

有效

• 申請號: 201310349342.X
• 申請日: 2013-08-12
• 公開（公告）號: CN103662884B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 高島弘樹;中西秀明
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65H3/08
• 分類號: B65H3/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 龐乃媛,黃劍鋒

1.一種吸引夾持器，具備平板狀的主體，該平板狀的主體具有與工件相對的相對面；在上述主體上形成有：從上述相對面噴出氣體的多個吸引單元、對各吸引單元提供上述氣體的供給通道、以及沿厚度方向貫穿上述主體的多個排氣孔；其特征在于，

每個上述吸引單元具備：具有在上述相對面上開口的圓形噴出口的圓柱狀空間，以及在上述噴出口的內周壁上開口的多個噴嘴；

上述供給通道具備：將上述氣體分配給上述多個噴嘴的每一個的分配通道，以及給上述分配通道提供上述氣體的共同供給通道；

上述吸引單元、上述分配通道及上述共同供給通道被形成在上述主體的厚度方向上的不同位置上。

2.如權利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述供給通道具備：提供上述氣體的供給口；以及，與上述分配通道連通的第1氣體室；

上述共同供給通道橫跨多個上述第1氣體室地設置，并且與上述供給口連接；

該吸引夾持器具備：形成了上述供給口的第1金屬板、形成了上述共同供給通道的第2金屬板、以及形成了上述第1氣體室的第3金屬板。

3.如權利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述共同供給通道作為沿厚度方向貫穿上述第2金屬板形成的細長縫隙而構成；

上述第2金屬板層疊多片金屬板而構成。

4.如權利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述共同供給通道作為互相間隔的多個細長縫隙而被形成在上述第2金屬板上；

上述多個細長縫隙中的一部分直接與上述供給口連通；

上述多個細長縫隙的剩余部分通過上述第1氣體室間接地與上述供給口連通。

5.如權利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，具備：形成了上述分配通道的第4金屬板、以及形成了第2氣體室的第5金屬板，該第2氣體室與各吸引單元所具備的上述多個噴嘴相對應地設置、使該對應的噴嘴與上述分配通道連通。

6.如權利要求5所述的吸引夾持器，其特征在于，具備：形成上述圓柱狀空間的一部分、并且形成了與該圓柱狀空間連通的多個上述噴嘴的第6金屬板；以及，形成了上述噴出口的第7金屬板。

7.如權利要求6所述的吸引夾持器，其特征在于，在依次將上述第1金屬板、上述第2金屬板、上述第3金屬板、上述第4金屬板、上述第5金屬板、上述第6金屬板、以及上述第7金屬板層疊后擴散接合而構成。

8.如權利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述第1氣體室為圓柱狀的空間；

上述第1氣體室和與該第1氣體室相對應的吸引單元的上述圓柱狀空間被配置在同一軸心上；

上述分配通道具備：與上述第1氣體室連通的輸入部，以及與該分配通道所對應的吸引單元所具備的多個上述噴嘴分別相對應地設置、將該對應的噴嘴與上述輸入部連通的單獨供給通道；

各單獨供給通道從上述軸心成放射狀地配置。

9.如權利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，各單獨供給通道為互相相等的長度、并且具有相等的流路截面積。

10.如權利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，各單獨供給通道以上述軸心為中心以等間隔配置。

11.如權利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，上述單獨供給通道的流路截面積與上述噴嘴的流路截面積相等或者比它大。

12.如權利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道通過刻蝕而被形成在對應的金屬板上。

13.如權利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道通過機械加工而被形成在對應的金屬板上。

14.一種移載裝置，其特征在于，具備：權利要求1所述的吸引夾持器，以及，能夠使上述吸引夾持器在規定的范圍內三維移動的并聯機構。