[發(fā)明專利]太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310349175.9
• 申請日: 2013-08-12
• 公開（公告）號: CN103390696A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪昭輝;郭文林;張盛杰;楊健;吳宇;龐益靜
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇宇兆能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 包紅健

1.太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：將要刻蝕的硅片置于功率電極上；

步驟二：關(guān)閉反應(yīng)室，充入反應(yīng)所需的氣體；

步驟三：設(shè)置反應(yīng)參數(shù)，射頻功率、反應(yīng)氣體壓強(qiáng)和反應(yīng)時(shí)間；

步驟四：運(yùn)行設(shè)備開始腐蝕工藝；

步驟五：結(jié)束腐蝕工藝，取出腐蝕后的硅片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝，其特征在于，所述步驟二中，反應(yīng)所需的氣體采用SF₆。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝，其特征在于，所述SF₆氣體的流量為20-60標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝，其特征在于，所述步驟三中，設(shè)置射頻功率為200-400瓦，設(shè)置反應(yīng)氣體壓強(qiáng)為15-40帕，設(shè)置反應(yīng)時(shí)間為10-40分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的RIE腐蝕工藝，其特征在于，所述SF₆氣體的流量為40標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘，反應(yīng)氣體壓強(qiáng)為25帕，射頻功率為300瓦，反應(yīng)時(shí)間為20分鐘。