[發明專利]晶捧定向裝置無效
| 申請號: | 201310348403.0 | 申請日: | 2013-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN103434036A | 公開(公告)日: | 2013-12-11 |
| 發明(設計)人: | 蔡武吉;趙國梁;邱冠華 | 申請(專利權)人: | 元鴻(山東)光電材料有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/04 | 分類號: | B28D7/04;B28D5/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 272000 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 定向 裝置 | ||
技術領域
?本發明屬于晶體生長加工技術領域,更具體的說是一種晶捧定向裝置。
背景技術
晶體材料是指由結晶物質構成的固體材料,其所含的原子、離子、分子或粒子集團等具有周期性的規則排列,目前,各類晶體材料的使用一般是將晶體材料做成晶體片材使用,晶體片材是由晶棒經線切割而成的,進行線切割前,一般需要對晶體材料進行定向,以便定向切割,以獲得晶體片材的最佳性能指標。
現有技術的晶體定向設備一般結構較復雜,操作繁瑣,膠接與定向分別在不同的設備上進行,往往造成較大的操作誤差,影響線切割的質量,導致晶體片材的質量不穩定。
發明內容
為了解決上述問題,本發明提供了一種膠接與定向可在同一臺設備上完成、?定向誤差較小、線切割質量較高、晶體片材的質量穩定的晶捧定向裝置,其具體方案為:所述的晶捧定向裝置由支架板、X射線接收窗、轉接體夾具、固定螺桿、連接轉軸、角度調節手柄、X射線發射窗、固定螺栓、轉盤、定向晶體、轉接體、夾具槽組成,其特征是支架板設置為長方體形,支架板的前端一側設置X射線發射窗,支架板的前端另一側設置X射線接收窗,支架板的后端中部設置轉盤,轉盤的上端設置轉接體夾具,轉接體夾具通過固定螺栓與轉盤固定在一起,轉接體夾具可隨轉盤一起轉動,轉盤的下端通過連接轉軸與角度調節手柄相連接,轉盤可在角度調節手柄的轉動下旋轉,轉接體夾具的上部設置夾具槽,夾具槽內設置轉接體,轉接體的上面放置定向晶體,轉接體通過固定螺桿固定在夾具槽內。
本發明所述的X射線發射窗、X射線接收窗,其特征在于X射線發射窗發射的X射線經定向晶體材料表面折射后,由X射線接收窗接收,折線與定向晶體材料表面形成一折射夾角θ+Δθ,所述的定向晶體為藍寶石晶體、硅晶體的一種,藍寶石晶體的A向折射夾角θ為18°55′,Δθ設置為0.1~0.5°,藍寶石晶體的C向折射夾角θ為20°50′,Δθ設置為0.1~0.5°,硅晶體的<111>晶向折射夾角θ為28°24′,Δθ設置為0.5~5°。
本發明所述的轉接體,其特征在于轉接體的材質采用玻璃。
使用時,首先將轉接體旋轉在夾具槽內,然后旋緊固定螺桿,將轉接體固定在夾具槽內,然后將定向晶體放置于轉接體上,通過調節角度調節手柄,獲得一需要的折射夾角,隨即將定向晶體與轉接體膠接在一起即可。
本發明的有益效果是晶捧定向裝置膠接與定向可在同一臺設備上完成,?定向誤差較小,線切割質量較高,晶體片材的質量穩定。
附圖說明
附圖1是本發明的結構示意圖;
附圖2是附圖1的A向結構示意圖;附圖1、2中:
1.支架板,2.?X射線接收窗,3.轉接體夾具,4.固定螺桿,5.連接轉軸,6.角度調節手柄,7.X射線發射窗,8.固定螺栓,9.轉盤,10.定向晶體,11.轉接體,12.夾具槽。
具體實施方式
結合附圖1、2對本發明進一步詳細描述,以便公眾更好地掌握本發明的實施方法,本發明具體的實施方案為:所述的晶捧定向裝置由支架板1、X射線接收窗2、轉接體夾具3、固定螺桿4、連接轉軸5、角度調節手柄6、X射線發射窗7、固定螺栓8、轉盤9、定向晶體10、轉接體11、夾具槽12組成,其特征是支架板1設置為長方體形,支架板1的前端一側設置X射線發射窗7,支架板1的前端另一側設置X射線接收窗2,支架板1的后端中部設置轉盤9,轉盤9的上端設置轉接體夾具3,轉接體夾具3通過固定螺栓8與轉盤9固定在一起,轉接體夾具3可隨轉盤9一起轉動,轉盤9的下端通過連接轉軸5與角度調節手柄6相連接,轉盤9可在角度調節手柄6的轉動下旋轉,轉接體夾具3的上部設置夾具槽12,夾具槽12內設置轉接體11,轉接體11的上面放置定向晶體10,轉接體11通過固定螺桿4固定在夾具槽12內。
本發明所述的X射線發射窗7、X射線接收窗2,其特征在于X射線發射窗7發射的X射線經定向晶體10材料表面折射后,由X射線接收窗2接收,折線與定向晶體10材料表面形成一折射夾角θ+Δθ,所述的定向晶體10為藍寶石晶體、硅晶體的一種,藍寶石晶體的A向折射夾角θ為18°55′,Δθ設置為0.1~0.5°,藍寶石晶體的C向折射夾角θ為20°50′,Δθ設置為0.1~0.5°,硅晶體的<111>晶向折射夾角θ為28°24′,Δθ設置為0.5~5°。
本發明所述的轉接體11,其特征在于轉接體11的材質采用玻璃。
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