[發明專利]光刻機的快門葉片

在審

• 申請號: 201310347787.4
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN104345578A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 湛賓洲;崔建波;張升進;陳旻峰
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光刻機的快門葉片，用于光刻機的曝光系統，其特征在于：所述快門葉片的基體材料為金屬材料，所述快門葉片包括接受汞燈光照射的正面和與之相背的背面，所述快門葉片的正面和背面中至少一面上設有一層非金屬涂層。

2.如權利要求1所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述非金屬涂層的吸收率與發射率的比值的范圍為0.01至0.25。

3.如權利要求2所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述非金屬涂層的材料為氧化鋁或者其他氧化物。

4.如權利要求1所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述快門葉片的背面設有一層高發射率涂層，該高發射率涂層的發射率的范圍為0.85至0.99。

5.如權利要求4所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述高發射率涂層的材料為黑色氧化層或者鍍黑鎳層。

6.如權利要求4所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述高發射率涂層通過將所述快門葉片的金屬基體鈍化發黑、氧化發黑或者鍍黑鎳的方式得到。

7.如權利要求1所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述快門葉片的背面表面做有粗糙處理，且其表面的粗糙度大于12.5。

8.如權利要求1所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述背面開設有輻射槽。

9.如權利要求8所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述輻射槽的形狀為三角形、梯形或者矩形。

10.如權利要求8所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述快門葉片的厚度的范圍為0.75毫米至1毫米，所述輻射槽的槽深范圍為0.1毫米至0.3毫米。

11.如權利要求1所述的光刻機的快門葉片，其特征在于：所述快門葉片在結構上區分為位于重心位置附近的中心部、位于邊緣位置的邊緣部以及位于所述中心部與邊緣部之間的連接部，所述連接部包括若干兩端分別連接所述中心部和所述邊緣部的連接筋部，所述快門葉片的中心部、邊緣部和連接筋部的厚度比所述快門葉片的其他部位厚。

12.一種光刻機的快門葉片，其特征在于：所述快門葉片的基體材料為金屬材料，所述快門葉片包括接受汞燈光照射的正面和與之相背的背面，所述背面開設有輻射槽或者做有粗糙處理。