[發明專利]檢查裝置、照明、檢查方法、以及基板的制造方法

無效

• 申請號: 201310347390.5
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN103592308A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 井戶勝也;千賀大輔
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;H05K13/08
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種檢查裝置，具備：以10度以下的照射角度向檢查對象物的檢查面照射含有藍色或紫色波長范圍的成分的光的照明。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，還具備：

輸送部，其具有沿著一個方向引導所述檢查對象物的引導部，且沿著所述一個方向輸送所述檢查對象物；以及

調整機構，在向所述檢查面照射所述光時，所述調整機構調整所述引導部或所述檢查對象物的高度，使所述引導部的上表面高度在所述檢查面以下。

3.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述引導部具有第一引導構件和第二引導構件，所述第一引導構件沿所述一個方向引導所述檢查對象物，所述第二引導構件在與檢查所述檢查對象物的位置、即檢查位置對應的位置被安裝在所述第一引導構件上，

所述調整機構調整所述第二引導構件的高度，使所述第二引導構件的上面高度在所述檢查面以下。

4.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述照明從與所述一個方向正交的方向照射所述光。

5.根據權利要求1所述的檢查裝置，其中，還具備：

拍攝部，所述拍攝部拍攝所述檢查面被所述照明照射了所述光的所述檢查對象物，獲取所述檢查對象物的圖像；以及

控制部，其基于所述圖像來檢測所述檢查面上的異物。

6.根據權利要求5所述的檢查裝置，其中，

所述控制部對所述檢查對象物的圖像進行二值化處理，基于所述二值化處理得到的圖像來檢測所述檢查面上的異物。

7.根據權利要求6所述的檢查裝置，還具備：

顯示部，所述顯示部具有屏幕；以及

其它照明，所述其它照明以超過10度的照射角度向所述檢查對象物的所述檢查面照射光，

所述拍攝部拍攝所述檢查面被所述其它照明照射了所述光的所述檢查對象物，獲取所述檢查對象物的圖像，

所述控制部將通過所述二值化處理得到的圖像疊加在利用所述其它照明照射光獲取的圖像上并在所述屏幕上顯示。

8.根據權利要求5所述的檢查裝置，其中，

所述控制部對所述檢查對象物的圖像使用非檢查掩模，在非檢查掩模以外的區域檢測所述異物。

9.根據權利要求8所述的檢查裝置，其中，所述控制部能夠生成非檢查掩模。

10.根據權利要求9所述的檢查裝置，其中，

所述控制部獲取根據顏色濃度把所述檢查面劃分成多個區域的區域信息并基于所述區域信息生成所述非檢查掩模。

11.根據權利要求9所述的檢查裝置，其中，

所述檢查對象物在所述檢查面上具有形成物，

所述控制部獲取所述形成物的位置信息，基于所述位置信息生成所述非檢查掩模。

12.根據權利要求9所述的檢查裝置，其中，

所述檢查對象物在所述檢查面上具有圖案，

所述控制部獲取所述圖案的邊緣線的信息，基于所述邊緣線的信息生成所述非檢查掩模。

13.根據權利要求12所述的檢查裝置，其中，

所述控制部使邊緣線以規定的膨脹率膨脹，將膨脹后的所述邊緣線作為所述非檢查掩模生成。

14.一種照明，以10度以下的照射角度向檢查對象物的檢查面照射含有藍色或紫色波長范圍的成分的光。

15.一種檢查方法，包括：

以10度以下的照射角度向檢查對象物的檢查面照射含有藍色或紫色波長范圍的成分的光，

拍攝所述檢查面被所述照明照射了所述光的所述檢查對象物，獲取所述檢查對象物的圖像，

基于所述圖像來檢測所述檢查面上的異物。

16.一種基板的制造方法，包括：

以10度以下的照射角度向基板的檢查面照射含有藍色或紫色波長范圍的成分的光，

拍攝所述檢查面被所述照明照射了所述光的所述基板，獲取所述基板的圖像，

基于所述圖像來檢測所述檢查面上的異物，

基于所述檢查面上的異物信息來判定所述基板的良否，

使被判定為良品的所述基板進入基板制造工序中的下一個工序。