[發(fā)明專利]采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310346988.2
• 申請(qǐng)日: 2013-08-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103435370A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜海燕;鞏曉曉;張曉艷;胡小俠;張頂印
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號(hào): C04B41/85
• 分類號(hào): C04B41/85
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 張宏祥

1.一種采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層，其原料組分及其重量百分比含量為：氮化硅粉95～98%，納米二氧化硅粉2～5%；

該采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層的制備方法，具有如下步驟：

（1）按照原料組分及其重量百分比含量為：氮化硅粉95～98%，納米二氧化硅粉2～5%；先將納米二氧化硅粉分散到聚乙烯吡咯烷酮簡(jiǎn)稱PVP水溶液中，超聲機(jī)分散，再與氮化硅粉球磨混合后，制備成漿料；其中的PVP水溶液含量為原料總重量的59～228wt%；

（2）將步驟（1）的漿料通過(guò)噴涂、流延或者刷涂的方法粘附在石英陶瓷坩堝生坯內(nèi)壁，初始膜厚為50～800微米；

（3）將步驟（2）內(nèi)壁粘附有漿料的石英陶瓷坩堝生坯置于高溫爐中進(jìn)行熱處理，以2℃/min由室溫升至600℃，保溫30min，再以4℃/min升至1200℃，保溫2h，隨爐冷卻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層，其特征在于，所述的氮化硅粉為高純氮化硅粉，純度>99.9%；納米二氧化硅粉為高純納米二氧化硅粉，純度>99.9%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層，其特征在于，所述的納米二氧化硅不僅包括納米二氧化硅粉末，還包括一切通過(guò)加熱或者分解的其他方式得到的納米二氧化硅的其他物質(zhì)，如硅溶膠。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的采用共燒結(jié)法制備石英陶瓷坩堝高結(jié)合強(qiáng)度的氮化硅涂層，其特征在于，所述步驟（3）熱處理后的石英陶瓷坩堝內(nèi)壁氮化硅涂層的厚度為45-700微米。